干涉条纹比较法云南开放大学31课件.pptxVIP

主讲人：郑丽萍////干涉条纹比较法////云南开放大学

光电检测技术

干涉条纹比较法

.前言在光学测量与材料性能分析等领域，准确获取物理量的变化和差异至关重要。干涉条纹比较法作为一种基于光干涉现象的精密分析手段，能够通过对比干涉条纹的特征变化，实现对微小形变、表面形貌差异等物理量的高精度测量。接下来我们将一同深入探究干涉条纹比较法的原理、实现过程以及应用场景。

干涉条纹比较法的基本原理

基本原理干涉条纹比较法的核心在于通过对比不同状态下的干涉条纹，来获取测量对象的物理信息。

具体来说，先获取测量对象在初始状态下的干涉条纹图像，作为参考基准；当测量对象的物理状态发生变化，如受到外力产生形变、温度改变导致尺寸变化等，再次获取干涉条纹图像。将变化后的图像与初始图像进行对比，由于物理状态的改变会导致光程差变化，进而使干涉条纹的形状、位置、间距等特征发生改变。基本原理

基本原理通过分析这些条纹特征的差异，就能够定量计算出测量对象的物理量变化，例如形变量、表面高度差等。

干涉条纹比较法的实现过程

.干涉条纹比较法的实施需要搭建合适的干涉仪装置，常见的如迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪等。实现过程以迈克尔逊干涉仪为例，其主要由光源、分光镜、两个反射镜和探测器组成。光源发出的光经分光镜分为两束，分别射向两个反射镜，反射回来的光再次经过分光镜汇聚，在探测器处产生干涉条纹。

01在搭建装置时，需精确调整各光学元件的位置和角度，确保获得清晰、稳定的干涉条纹，为后续的比较测量奠定基础。02高分辨率的图像采集设备，如CCD（电荷耦合器件）或CMOS（互补金属氧化物半导体）相机，对干涉条纹进行拍摄。03在采集过程中，要注意控制拍摄条件的一致性，包括光源强度、曝光时间、拍摄角度等，以保证不同状态下采集的条纹图像具有可比性。实现过程

.对于动态变化的测量对象，可能还需要采用高速相机进行连续拍摄，捕捉条纹变化的全过程。实现过程采集到的干涉条纹图像需要借助专业的图像处理软件和算法进行分析。

然后运用边缘检测算法，如Canny算子，提取条纹的边缘信息；接着通过条纹匹配、特征点识别等方法，对比不同图像中条纹的位置、形状和间距等参数。首先对图像进行预处理，包括降噪、增强对比度等操作，提高条纹的清晰度；实现过程

实现过程根据光干涉的理论公式，结合条纹参数的变化量，计算出测量对象的物理量变化值。

实现过程同时，为了保证测量结果的准确性，还需要对测量数据进行误差分析和校准，排除环境因素等干扰带来的影响。

干涉条纹比较法的应用场景

.在材料科学领域，干涉条纹比较法可用于检测材料在受力状态下的形变情况。例如，对金属板材施加压力，通过对比施压前后的干涉条纹图像，能够精确测量板材表面的微小形变，从而分析材料的弹性模量、屈服强度等力学性能参数，为材料的研发和质量控制提供重要依据。材料力学性能检测应用场景

.对于光学镜片、棱镜等光学元件，其表面形貌的精度直接影响光学系统的性能。利用干涉条纹比较法，将光学元件的实际干涉条纹与理想状态下的条纹进行对比，可以检测出元件表面的面形误差、局部缺陷等问题，实现对光学元件质量的高精度评估，确保其满足光学系统的使用要求。光学元件质量评估应用场景

.在微机电系统器件的制造过程中，干涉条纹比较法能够对微小结构的尺寸、形状和动态特性进行检测。通过对比微机电系统器件在不同工作状态下的干涉条纹，可分析其结构的变形、振动情况，为微机电系统器件的设计优化和性能提升提供数据支持。微机电系统检测应用场景

总结从迈克尔逊干涉仪的条纹移动分析到实际工程中的缺陷检测，这种非接触式、高灵敏度的测量方法始终是光学计量的重要工具。