基于PyroMEMS安保机构的传火序列：设计、制备与性能的深度剖析.docx

基于PyroMEMS安保机构的传火序列：设计、制备与性能的深度剖析

一、绪论

1.1研究背景

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术，作为一门多学科交叉融合的前沿技术，其发展历程见证了人类对微观世界操控能力的不断突破。该技术起源于20世纪中叶，彼时，随着集成电路技术的蓬勃发展，科学家们开始探索在微观尺度下集成机械和电子元件的可能性，MEMS技术的雏形应运而生。历经数十年的潜心研究与技术积累，MEMS技术在材料、设计、制造工艺等方面取得了长足的进步。如今，MEMS器件已广泛应用于汽车、消费电子、生物医疗、航空航天等众多领域，成为现