第二章太阳能电池2.2太阳能电池的生产工艺流程59课件.pptVIP

第二章太阳能电池§2.2太阳能电池的生产工艺流程制造晶体硅太阳能电池包括绒面制备、扩散制结、刻蚀、去磷硅玻璃、镀减反射膜、烧结、丝网印刷电极、测试分选等主要工序。图2-6晶体硅太阳能电池生产制造工艺流程第二章太阳能电池1、硅片太阳能电池的生产工艺流程步骤：硅片是制造太阳能电池的基本材料，它可以由纯度很高的硅棒、硅锭或硅带切割而成。硅材料的性质在很大程度上决定成品电池的性能。硅片的选择就是把性能一致的硅片选择出来，如导电类型、电阻率、晶向、寿命等。若将性能不一致的硅片电池组合起来制作单体太阳能电池，再制作成组件，其输出的功率就会降低。第二章太阳能电池2、硅片表面处理太阳能电池的生产工艺流程步骤：①去除硅片表面的机械损伤层；②对硅片的表面进行凹凸面(金字塔绒面）处理，增加光在太阳能电池片表面的折射次数，有利于太阳能电池片对光的吸收，以达到电池片对太阳能价值的最大利用率；③清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质。第二章太阳能电池3、绒面制备太阳能电池的生产工艺流程步骤：目的：减少光的反射率，提高短路电流，最终提高电池的光电转换效率。图2-7较为理想的绒面效果图单晶硅多晶硅第二章太阳能电池4、扩散制结太阳能电池的生产工艺流程步骤：扩散制造PN结是太阳能电池生产最基本也是最关键的工序。因为正是PN结的形成，才使电子和空穴在流动后不再回到原处，这样就形成了电流，用导线将电流引出，就是直流电。扩散结果直接影响到PN结的质量，并对制作太阳能电池的后续步骤印刷及烧结产生影响。扩散法主要有热扩散法、离子注入法、薄膜生长法、合金法、激光法和高频电注入法等。通常采用热扩散法制结。而热扩散法又分为涂布源扩散、液态源扩散和固态源扩散之分。第二章太阳能电池太阳能电池的生产工艺流程步骤：图2-8管式扩散炉太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成第二章太阳能电池5、去除背结太阳能电池的生产工艺流程步骤：在扩散过程中，硅片的背面和周边也形成了PN结，为防止短路，需要通过刻蚀将其去除，同时去除正面的磷硅玻璃。刻蚀方法湿法刻蚀干法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术，是最普遍、也是设备成本最低的刻蚀方法。它是一种纯化学刻蚀，具有优良的选择性，刻蚀完当前薄膜就会停止，而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。图2-8湿法刻蚀工艺流程第二章太阳能电池湿法刻蚀与干法刻蚀的简单比较：⑴湿法刻蚀相对干法刻蚀的优点：①非扩散面的PN结刻蚀时被去除；②硅片洁净度提高；③节水。太阳能电池的生产工艺流程步骤：⑵湿法刻蚀相对干法刻蚀的缺点：①硅片水平运行，；②下料吸笔易污染硅片；③传动滚轴易变形；④成本高（化学品刻蚀代替等离子刻蚀成本增加）。第二章太阳能电池6、制备减反射膜太阳能电池的生产工艺流程步骤：磁控溅射的特点是成膜速率高，基片温度低，膜的粘附性好，可实现大面积镀膜。具体方法光在硅表面的反射损失率高达35%左右。为减少硅表面对光的反射，可在电池正面蒸镀上一层或多层减反射膜。减反射膜不但具有减少光反射的作用，而且对电池表面还可起到钝化和保护的作用。等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）磁控溅射技术PECVD的优点是基本温度低；沉积速率快；成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。第二章太阳能电池太阳能电池的生产工艺流程步骤：7、腐蚀周边硅片四周的扩散层会使上下电极短路，所以必须去除。一般将硅片置于硝酸、氢氟酸组成的腐蚀液中去腐蚀。为了输出电池光电转换所获得的电能，必须在电池上制作正、负两个电极。所谓电极，就是与电池PN结形成紧密欧姆接触的导电材料。一般用丝网印刷的方法制作电极。8、制作上、下电极一号印刷机，是印刷背面电极（简称背极）的设备，它主要是在硅片的背面用银浆印刷上背极，再经过烘干炉烘干后，将硅片送入下道工序。二号印刷机，主要是在硅片上通过铝浆的印刷形成背电场，再经过烘干炉烘干后进入下道工序。三号印刷机，在硅片的表面用银浆印上正栅，必须要注意断栅的发生。丝网印刷设备