条纹光强检测法云南开放大学80课件.pptxVIP

主讲人：郑丽萍////条纹光强检测法////云南开放大学

光电检测技术

条纹光强检测法

.条纹光强检测法这种干涉图样的判读，通常采用扫描图像测量，是依据干涉条纹的光强分布，某点处条纹的空间相位是从周围条纹分布的比较中得到的。它的空间分辨率和相位分辨率，就受到限制，使干涉测量的实际精度不超过二十分之一波长（λ/20）。

在20世纪70年代，有了各种可直接进行相位检测的干涉图测量技术。对两束相干光相位差引入时间调制，使干涉图上各点处的光学相位，变换为相应点处时序电信号的相位变化。

利用扫描或阵列探测器，可分别测得各点的时序变化，从而就能以优于λ/100的相位精度和100线/mm的空间分辨率，测得干涉图的相位分布。这些干涉图测量法包括锁相干涉和扫描干涉测量。光电耦合器件的应用特点它们为干涉测量开辟了实时、数字、高分辨的新领域在全息与散斑干涉图的测量中，也得到了应用。

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条纹光强检测法

.条纹光强检测法是利用光学干涉仪的双光束或多光束的干涉作用，以光电元件直接检测条纹或同心圆，环形干涉条纹的光强变化而实现测量。当角反射镜随被测物移动二分之一波长时，干涉条纹的光强就发生一个周期变化。采用光电接收器计数干涉条纹数目的增减和条纹间隔间的相位关系，就能确定被测物的位置变化。

下图表示了均匀照明光产生的干涉条纹光强分布。条纹光强检测法

.条纹光强检测法x是干涉平面上的坐标值。当采用缝状光阑，当其横向尺寸d干涉条纹间距D的一半时，光电接收器输出端的交变信号的幅值最大。直流分量交变分量的幅值；

.条纹光强检测法此外，在干涉条纹宽度D本身允许调节的情况下，计算和实验表明，不论是采用均匀分布的照明光束，还是采用单模激光光束，在截面上的辐射强度呈高斯分布时，增大干涉条纹的间距，都有利于提高信号检测的对比度和增大交变分量的幅值。在多数情况下，为了消除振动的干扰和进行双向测长，干涉测量需要采用可逆计数。这就要求检测装置提供彼此正交的两路交变信号。

通常的可逆计数器具有四倍频细分的能力。条纹光强检测法将此二信号二值化之后，送入可逆的电子计数器中，即能进行双向位移的测量。当采用λ=0.6238微米的稳频He-Ne激光器作照明光源时，可得到λ/8=0.0791微米的位移分辨率。

当要求更高的分辨率时，应该采用光学或电子细分技术。条纹光强检测法相对误差小于10-6。对非有理数的光波波长基准，在当量运算时要进行有理化处理，这可以通过计算电路或计算机自动进行。