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《热加工工艺》2021

《热加工工艺》2021年4月第50卷第8期

氧化铝表面熔盐镀钛及镀层结合力的研究

刘朵,桑可正,曾德军

(长安大学材料科学与工程学院,陕西西安710064)

摘要:采用熔盐法在A1203陶瓷表面沉积了金属Ti镀层,研究了不同沉积温度对Ti镀层与A1203陶瓷结合力的影响。利用扫描电镜观察Ti镀层的表面形貌和纵剖面结构。通过划痕仪的声发射检测方式定量分析Ti镀层与A1203陶瓷的结合力。结果表明:沉积温度为800°C时,Ti镀层的组织均匀、连续,与A1203陶瓷结合紧密,界面处无裂纹、孔洞等缺陷;Ti镀层与A1203陶瓷之间具有较髙的结合力,临界载荷达100N。

关键词:Al2〇3陶瓷;熔盐法;Ti镀层;结合力

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814中图分类号:TG174.4 文献标识码:A 文章编号:1001-3814(2021)8-0065-04

ResearchonDepositionofTitaniumonAluminabyMoltenSaltMethodandAdhesiveStrengthofCoating

LIUDuo,SANGKezheng,ZENGDejun

(SchoolofMaterialsScienceandEngineering,ChanganUniversity,Xian710064,China)

AbstractTicoatingwassuccessfullydepositedonA1203ceramicsubstratebymoltensaltmethod,andtheeffectsofdifferentdepositiontemperaturesontheadhesivestrengthoftheTicoatingandtheA1203ceramicswerestudied.ThesurfacemorphologyandverticalsectionstructureoftheTicoatingwereanalyzedbyscanningelectronmicroscope.TheadhesivestrengthoftheTicoatingtotheA1203ceramicswasdiscussedquantitativelythroughtheacousticemissiondcctectionmethodofthescratchmethod.Theresultsshowthatwhenthedepositiontemperatureis800°C,theTicoatinghasauniformandcontinuousstructure,whichistightlycombinedwithA1203ceramics.Therearenodefectssuchascracksandholesattheinterface.TheTicoatingandA1203ceramicshaveahighadhesivestrength,andthecriticalloadreaches100N.

Keywords:A1203ceramic;moltensaltmethod;Ticoating;adhesion

陶瓷表面金属化在电子元器件封装、散热领域性金属元素可以降低残余应力;同时,选择最佳的工具有广泛应用,如多层芯片封装、陶瓷基印制电路艺温度可有效提高薄膜和基体的结合强度最常板、微电子器件等[?。金属化层的优劣将直接影响到用的陶瓷表面金属化工艺是Mo-Mn工艺,也称为电子元器件的可靠性与耐久性 烧结金属粉末工艺。011〇811等^采用Mo-Mn工艺,在

陶瓷基体与金属镀层的结合强度是陶瓷表面金 1250?1400°C内,对A1203陶瓷进行了金属化处理,属

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