激光干涉测量技术1讲课文档.pptVIP

激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(1)移相器——b.阶梯板和翼形板移相翼形板移相的原理与阶梯板移相相同，常安放在参考光束一侧。翼形板由一块加工十分精密的平行玻璃板截成两块，在它们的一端磨出所需的倾角θ/2，然后按照图2.10所示胶合成翼形板。采用阶梯板或翼形板移相同样容易受大气扰动引起波阵面畸变的影响。第30页，共49页。激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(1)移相器——c.金属膜移相利用金属膜表面反射和透射时产生附加相差的原理，在分光器的分光面上镀上金属膜做成金属膜分幅移相器，如图2.11所示。它的移相程度取决于镀层的厚度及其组成。铝膜可以移相70o～90o，金银合金膜的稳定性比铝膜好。在图2.11中，光路2中产生干涉的两束光均经过金属移相膜的一次透射和一次反射，光电接收器接收的是位相相同的两束激光所形成的干涉条纹。第31页，共49页。激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(1)移相器——c.金属膜移相而在光路1中产生干涉的两束光，一束是经过金属移相膜的两次反射，另一路则经过两次透射。若金属移相膜使反射光束和透射光束产生45o位相差，则光电接收器接收的是位相差为90o两束光的干涉信号。这样，两个光电接收器接收的信号位相差为90o。这种移相方法的优点是两光束受振动和大气扰动的影响相同，元件少，结构紧凑。其缺点是两相干光束的光强不同，影响条纹对比度，改善办法是在光束强的反射器前放一块吸收滤光片，使两束光强度接近一致以提高对比度。第32页，共49页。激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(1)移相器——d.分偏振法移相图2.12是分偏振法移相的光路图。输入光束是与垂直入射面成45o角的平面偏振光，由分光器和活动反射器发射后，信号光束的输出还是45o的平面偏振光，因此，它的垂直和水平分量位相相同。在参考光路中加入1/4波片，使参考光变成圆偏振光，它的垂直和水平分量相差为90o.光束会合后用一个渥拉斯顿棱镜使垂直分量和水平分量分开，给出两个干涉条纹，它们的位相差为90o。第33页，共49页。激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(2)干涉条纹计数及判向原理干涉仪在实际测量位移时，由于测量反射镜在测量过程中，可能需要正、反两方向的移动，或由于外界振动、导轨误差等干扰，使反射镜在正向移动中，偶然有反向移动，所以，干涉仪中需设计方向判别部分，将计数脉冲分为加和减两种脉冲，当测量镜正向移动时所产生的脉冲为加脉冲，而反向移动时所产生的脉冲为减脉冲。将这两种脉冲送入可逆计数器进行可逆计算就可以获得真正的位移值。如果测量系统没有判向能力，光电接收器接收的信号是测量镜正、反两方向移动的总和，并不代表真正的位移值。第34页，共49页。激光干涉测量长度和位移2干涉仪组成——(二)条纹计数与结果处理系统(2)干涉条纹计数及判向原理(1)通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号，该信号由两个光电探测器接收，便可获得与干涉信号相对应的两路相差π/2的正弦信号和余弦信号。第35页，共49页。*激光干涉测量技术1第1页，共49页。概要干涉测量是以光波干涉原理为基础来进行测量的一门技术。干涉测量技术大都是非接触测量，具有很高的测量灵敏度和精度。干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化、振动等方面的测量。常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪、菲索干涉仪、塞曼-格林干涉仪、双频激光干涉仪、光纤干涉仪、扫描隧道显微镜（82年），原子力显微镜（86年），从此开始了纳米级干涉测量的时代——诺贝尔奖（BinningandRohrer）为使两列光波叠加后产生稳定的干涉条纹，这两列光波必须满足三个基本相干条件：频率相同，振动方向相同和恒定的位相差。1第2页，共49页。概要显然，为发生干涉现象，必须利用同一发光原子发出的同一波列分割出来的两束光波。原子不同时刻发出的两列波，位相差无规则且频繁变化不会产生干涉。两列光波发生干涉的最大光程差等于光波的波列长度，激光波列长度比普通光源长很多（几十公里）。在干涉测量中，干涉仪以干涉条纹来反映被测件的信息。干涉仪将光分成两路或多路，干涉条纹是两路光程差相同点联成的轨迹，而光程差?是干涉仪两支光路光程之差，可用下式表示：1ni,nj分别为干涉仪两支路的介质折射率；li,lj分别为干涉仪两支路的几何路程差。若把被测件放入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差将随着被测件的位置与形状而变，干涉条纹随之变化，测出条纹的变化，便可获