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实施指南(2025)《GBT32815-2016 硅基 MEMS 制造技术体硅压阻加工工艺规范》.pptxVIP

实施指南(2025)《GBT32815-2016 硅基 MEMS 制造技术体硅压阻加工工艺规范》.pptx

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    《GB/T32815-2016硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范》(2025年)实施指南

    目录目录一、为何说GB/T32815-2016是硅基MEMS体硅压阻加工的“行业标尺”？专家视角解读标准核心框架与未来5年应用价值二、体硅压阻加工工艺的“根基”是什么？深度剖析标准中硅材料选型要求及与MEMS器件性能的关键关联三、如何突破体硅压阻加工的“核心工序”瓶颈？结合标准流程拆解光刻、刻蚀环节操作要点与质量控制四、压阻效应的“稳定性密码”藏在哪？专家解读标准中掺杂工艺参数设定与长期可靠性保障措施五、体硅结构“精准成型”有哪些关键指标？对照标准解析蚀刻

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