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光刻工标准化操作规程

文件名称：光刻工标准化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于所有从事光刻工艺操作的人员。规程旨在确保光刻操作的安全、准确和高效，预防事故发生。操作人员必须严格遵守本规程，熟悉光刻设备性能和操作流程，确保个人和他人的安全。规程要求操作人员具备一定的专业技能和责任心，持续提升操作技能和安全意识。

二、操作前的准备

1.个人防护：操作人员进入光刻车间前，必须穿戴符合规定的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩。长发需束起，避免进入设备内部造成安全隐患。

2.设备检查：

a.确认设备电源是否正常，检查设备外观是否有损坏或异常。

b.检查设备各部件是否牢固，特别是光学系统、机械臂和支撑结构。

c.检查设备运行参数是否与工艺要求相符，如有偏差，及时调整。

3.环境检查：

a.检查车间内照明是否充足，确保操作人员视线清晰。

b.检查通风系统是否正常，确保空气流通，降低有害气体浓度。

c.检查地面是否干燥，防止滑倒事故发生。

4.工艺文件准备：

a.仔细阅读并理解工艺文件，确保操作步骤正确无误。

b.核对工艺参数，确保与设备设置一致。

5.试剂和材料准备：

a.检查光刻胶、显影液等试剂是否在有效期内，确保质量合格。

b.检查硅片、掩模等材料是否清洁，避免杂质影响光刻效果。

6.设备状态确认：

a.检查设备是否处于待机状态，确认设备无异常。

b.检查设备各参数是否正常，如温度、压力、流量等。

7.安全培训与沟通：

a.操作人员应参加光刻操作安全培训，了解操作规程和安全注意事项。

b.操作前与同事进行沟通，确保操作步骤和注意事项明确。

8.紧急预案：

a.熟悉车间内紧急出口位置，确保在紧急情况下能够迅速撤离。

b.了解车间内消防设施的位置和使用方法，确保在火灾等紧急情况下能够及时处置。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.按照工艺文件规定的顺序进行操作，确保每一步骤的正确执行。

b.在开始操作前，先进行设备自检，确认设备状态良好。

c.预热设备至规定温度，保持恒温状态。

d.检查硅片和掩模是否放置正确，避免污染和损坏。

e.加载硅片到设备，确保硅片与设备接触紧密。

f.设置光刻参数，如曝光时间、曝光功率等。

g.启动曝光机，进行光刻曝光。

h.曝光完成后，关闭曝光机，取出硅片。

i.进行显影、定影等后续工艺处理。

j.清洁设备，为下一轮操作做好准备。

2.作业方式：

a.操作时保持专注，遵循“三不原则”：不看、不听、不操作。

b.操作过程中，保持双手稳定，避免因操作不当导致设备或材料损坏。

c.严格按照操作规程进行，不得随意更改参数或步骤。

d.遇到疑问或异常情况，应立即停止操作，报告上级处理。

3.异常处置：

a.设备出现异常时，立即停止操作，关闭设备电源。

b.检查设备故障原因，如属一般性故障，可自行排除；如属严重故障，应立即上报，由专业人员处理。

c.操作过程中发现硅片或掩模污染，应立即更换，避免影响光刻质量。

d.发生安全事故或紧急情况，立即启动应急预案，采取必要措施，确保人员安全。

4.质量控制：

a.操作过程中，定期检查光刻效果，确保符合工艺要求。

b.对不合格的产品进行标记，隔离处理，不得继续流入下一工序。

c.对光刻设备进行定期维护和保养，确保设备处于良好状态。

5.记录与报告：

a.操作过程中，详细记录操作步骤、参数设置和异常情况。

b.每班次结束后，填写操作记录表，报告生产情况。

c.对异常情况进行分析，提出改进措施，防止类似问题再次发生。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常噪音或震动。

b.温度、压力、流量等关键参数稳定，在工艺参数允许的范围内。

c.曝光系统、机械臂等运动部件运行顺畅，无卡滞现象。

d.电源供应稳定，电压、电流等参数符合设备要求。

e.气源充足，纯度和流量满足工艺要求。

f.控制系统运行正常，无故障报警。

2.异常现象识别：

a.设备出现不正常的噪音或震动。

b.温度、压力、流量等参数出现剧烈波动或超出设定范围。

c.曝光系统、机械臂等运动部件出现卡滞、异常震动或偏离预定轨迹。

d.电源供应不稳定，电压、电流等参数出现异常波动。

e.气源供应不足或纯度降低，影响光刻质量。

f.控制系统出现故障报警或无法正常响应。

3.状态监测方法：

a.观察设备外观，注意异常声音、振动和结构变化。

b.使用温度计、压力计、流量计等工具实时监测关键参数。

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