表面化学分析 X射线光电子能谱仪检定方法.pdfVIP

《表面化学分析X射线光电子能谱仪

检定方法》

国家标准

征求意见稿编制说明

厦门佳集悦网络技术有限公司、厦门大学、中国科学院化学研究所、

北京大学、北京师范大学、中山大学

2025年9月12日

一、工作简况

表面分析是半导体器件、新材料、新能源和生医技术等战略性新兴产业的重要支撑。

XPS（X射线光电子能谱仪）是表面分析的最核心仪器。我国目前有数百台该类仪器。我国

于2010年制定了GB/T25184-2010《X射线光电子能谱仪检定方法》国家标准，取得了良

好效果。十余年来，我国战略性新兴产业快速发展，XPS仪器也有很大进展，新制修定了

一批相关的ISO标准和国家标准。为使我国XPS分析技术保持国际先进并与国际接轨，全

国表面分析技术委员会于2024年提出修订GB/T25184-2010《X射线光电子能谱仪检定方

法》国家标准，并列入国家标准委2025年制修订国家标准计划，项目编号T-491。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。

本标准起草单位厦门佳集悦网络技术有限公司、厦门大学、中国科学院化学研究所、北

京大学、北京师范大学和中山大学。前者专注于网络相关材料、器件等的分析测试，公司拥

有国际一流的表面分析专家，其紧密合作的闳康科技公司有配套完整且最先进的XPS等表

面分析仪器。厦门大学、中国科学院化学研究所、北京大学、北京师范大学和中山大学是我

国表面化学分析的领军院校，都拥有世界一流的XPS谱仪。此次共同承担了《表面化学分

析X射线光电子能谱仪检定方法》国家标准的修订工作。

本标准是综合性标准，国标委下达制定周期为16个月。标准计划8月6日下达，组织

起草阶段需5个月，征求意见阶段需5个月，技术审查阶段需6个月，共计16个月。

本标准起草组成员为李建辉、赵志娟、谢景林、吴正龙、谢方艳、岑丹霞、王水菊。其

中赵志娟、谢景林、吴正龙、谢方艳和王水菊为ISO/TC201和SAC/TC38委员。李建辉为

SAC/TC469委员。

本标准起草组王水菊为项目负责人，负责本标准制定全过程起草组工作技术内容把关，

组织协调。李建辉和岑丹霞负责新制修定的相关ISO标准和国家标准的检索、翻译和整理，，

按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》给出的

规则编写《征求意见稿》，并在广泛征求意见基础上形成《送审稿》。。赵志娟、谢景林、吴

正龙、谢方艳负责相关章条的技术内容审查把关。赵志娟还负责SAC/TC会议审查修改形成

《报批稿》，报送国家标准委编审的沟通修改定稿。

二、标准编制原则、主要内容和确定依据

本标准的编写按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起

草规则》的规定起草。

本标准主要技术内容：前言、引言，范围，术语、定义、符号和缩略语，能量标检定、

强度标线性检定、选区和XPS成像空间分辨检定、荷电中和检定和离子枪溅射速率检定及

参考文献等。

本文件代替GB/T25184—2010《X射线光电子能谱仪检定方法》,与GB/T25184—2010

相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术性变化如下:

a)更改了“规范性引用文件”的部分引用文件（最新修订版）；

b)更改了引用的“规范性引用文件”与修订版相关的内容；

c)为与现有标准体系保持一致性，本文件题目更改为“《表面化学分析X射线光电子

能谱仪检定方法》”

三、试验验证的分析

本标准为方法类，各检定项目参照了相应最新ISO标准和同等采用的国家标准，这些

标准制定时已经过国际实验室间试验验证和国内相关实验室的验证。各起草单位也使用本标

准进行XPS谱仪检定，证明了使用本标准对XPS谱仪进行XPS仪器检定是可行的。XPS

分析是半导体器件、光学薄膜、新材料和新能源等战略性新兴产业的重要技术支撑，制定本

标准预期将产生良好的经济效益和社会效益。

四、与国际、国外同类标准技术内容对比情况

本标准为修订标准，为XPS综合性检定方法，除本标准拟修订的GB/T25184—2010外，

国内外无此类综