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公司掩膜版制造工职业健康及安全操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司所有从事掩膜版制造工作的人员。适用于掩膜版制造过程中涉及到的设备操作、物料处理、环境维护等各个环节。本规程旨在确保员工在制造过程中的人身安全与健康，防止事故发生，保障公司财产不受损失。员工必须严格遵守本规程，确保工作环境安全、卫生。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

a.穿戴符合国家标准的安全帽，确保帽沿与头顶之间有适当的间隙，防止撞击。

b.穿着专用的工作服，避免穿着宽松或易脱落的衣物，以免被机器卷入。

c.配戴防护眼镜，防止化学物品溅入眼睛。

d.使用防尘口罩或面罩，防止吸入有害粉尘。

e.使用防静电手套，防止静电对掩膜版造成损害。

f.根据工作环境佩戴耳塞，降低噪音对听力的影响。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否完好，无损坏或变形。

b.检查设备各连接部件是否牢固，螺丝是否松动。

c.检查设备润滑系统是否正常，油位是否在规定范围内。

d.检查设备电气系统，确保无漏电现象。

e.检查设备运行参数是否符合工艺要求。

f.对设备进行试运行，确认设备运行正常。

3.作业区域的准备要求：

a.确保作业区域清洁、无杂物，防止绊倒或滑倒。

b.检查地面是否有油污、水渍，如有，及时清理。

c.确保作业区域通风良好，保持空气流通。

d.检查紧急疏散通道是否畅通，确保在紧急情况下能够快速撤离。

e.检查消防设施是否完好，确保消防器材易于取用。

f.确保作业区域有足够的光线，防止因光线不足导致操作失误。

g.检查安全警示标志是否清晰可见，提醒员工注意安全。

h.根据工作需要，配备必要的个人防护用品和急救箱。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.首先，根据工艺要求准备好所需的原材料、工具和设备。

b.清洁工作区域，确保无尘无污染，符合净化级别要求。

c.按照设备操作手册的指导，逐步完成设备的启机、预热和调试。

d.启动设备，缓慢进行工艺流程的初始化，包括参数设置、进料等。

e.在设备正常运行期间，密切监控各项工艺参数，确保工艺稳定。

f.完成工艺流程后，逐步降低设备运行速度，停止进料。

g.进行设备冷却，确保设备温度降至安全操作范围。

h.关闭设备，清理现场，整理使用过的工具和原材料。

i.记录操作过程中的数据，包括设备运行参数、工艺效果等。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于光刻工序，确保掩膜版和晶圆清洁，按照标准程序进行曝光和显影。

b.在蚀刻工序中，严格控制蚀刻时间和蚀刻液浓度，防止蚀刻过度或不足。

c.对于化学清洗工序，按照规定的化学药品浓度和时间进行清洗，避免腐蚀和残留。

d.在离子束刻蚀工序中，确保离子束能量和束流精确，防止对掩膜版造成损伤。

3.异常工况的处理方法：

a.发现设备异常，立即停止操作，切断电源，避免事故扩大。

b.分析异常原因，如设备故障、工艺参数错误等。

c.对设备进行初步检查，如检查传感器、电路板等。

d.如无法自行排除故障，通知维修人员，并在必要时隔离故障设备。

e.对异常工况进行处理后，重新启动设备，确保恢复正常工作状态。

f.记录异常情况和处理过程，为以后类似情况提供参考。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.温度：设备运行时，各部件温度应保持在设备说明书规定的正常工作温度范围内。

b.噪音：设备运行时，噪音水平应在国家环保标准规定的范围内，无异常噪音。

c.压力：对于涉及压力的设备，如压力容器、压力泵等，压力应保持在设定的工作压力范围内。

d.流量：对于涉及流量的设备，如输送泵、过滤器等，流量应与工艺要求相符。

e.电压：设备运行时，供电电压应稳定在规定范围内，波动不应超过±5%。

f.电流：设备运行时，电流应稳定，不应有过载或异常波动。

g.速度：设备运行速度应符合工艺要求，无明显的波动或异常。

2.典型故障现象：

a.设备温度异常升高，可能是因为冷却系统故障或过载。

b.设备噪音异常增大，可能是轴承磨损、传动带松动或齿轮损坏。

c.压力波动或异常，可能是压力控制阀故障或管道泄漏。

d.流量不稳定或不足，可能是泵或过滤器故障。

e.电压或电流异常，可能是供电系统问题或设备内部电路故障。

f.设备运行速度不稳定，可能是电机故障或控制系统问题。

3.状态监测的操作要求：

a.定期检查设备各部件的温度、噪音、压力、