表面化学分析 X射线光电子能谱 荷电控制和荷电校正方法的报告.pdfVIP

国家标准

表面化学分析射线光电子能谱荷电控

X

制和荷电校正方法的报告

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Reportingofmethodsusedfor

chargecontrolandchargecorrection

编制说明

GB/T25185国标编制工作组

（ISO19318:2021，IDT）

（XXX）

（修订GB/T25185-2010）

2025年9月日

国家标准

表面化学分析X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法

的报告

编制说明

一、工作简况

1.1任务来源

2024年8月国标复审，准备修定。2025年1月提交了修订本标准项目建议

书，计划等同采标ISO19318：2021，修订本标准。2025年8月7日国家标准化

管理委员会下达修订计划任务（国标委发【2025年】XXX号文件），任务计划

编号为T-491，由北京师范大学等负责起草，任务周期为12个月。

1.2目的意义

XPS是表面分析中应用广泛的表面分析技术。荷电是XPS测试中最大的难

题之一。现行国标于2010年发布，采标ISO19318：2004.国标文本提供了荷电

控制、荷电中和及荷电校正的技术方法，对于XPS测试工作极具指导作用，发

挥了很好的社会效益，得到了广泛的应用。随着新仪器新设备技术的发展，以及

XPS测试工作的需求，急需对标准中的技术内容进行修订，以适应发展需求。同

时，也是为了保持标准技术内容的先进性，与国际接轨。此标准为基础方法标准，

国内没有可替代的标准文本。特申请修订此国标。

1.3修订主要内容

现行国标为XPS分析及其结果报告提供了可行实用的荷电控制方法、荷电中

和方法及结果后处理荷电校正（通过校正结合能）方法。同时，也提供了相关方

法技术的参考资料。之前，我国参加过ISO相关专业标准的修订审查，了解此

标准方面ISO修订内容和新进展。本次计划修订国标，依照ISO19318：2021，

主要对其中一些技术内容完善，能更好地满足新的XPS测试分析需求，获得更

加可靠的XPS结果。重新对标准文本中所有内容进行审定。主要修订技术内容

包括，1）修改了规范性引用文件内容，以及按ISO18115-1：2013修订术语定

义内容；2）对7.7中荷电控制的有效性内容作修改，增加了检查中和枪对样品

的损伤评估，并给出了减小样品损伤的措施；3）对附录A中修改了A.2.1物质

2

组分损伤的处理，补充了A.2.5.2试样与地绝缘方法内容，A.3.2修改了众所关注

的外来污染碳校正值，采纳了一些新近文献发表的值。

1.4制定背景及起草人分工情况

X射线光电子能谱（XPS）广泛用于材料表面的表征。由于绝缘样品表面荷

电，在XPS测量时其表面电势往往发生变化，难以精确测定结合能以满足鉴别

元素或确定化学态的需要。解决此问题分两步进行，即采用实验方法减少表面荷

电量（荷电控制方法）和在采集XPS数据后，校正表面荷电效应（荷电校正法）。

尽管在某些情况下表面电荷积累使分析复杂化，但它还是能够用作获得有关样品

信息的一种手段。我国拥有常规XPS表面析仪器估计有300多台，分布于大专

院校、科研院所、半导体电子及先进材料制造相关专业实验室。在这些日常XPS

测试中荷电问题几乎是绕不开的问题，均会应用此类标准中的内容。此标准是国

内唯一一部较权威的XPS荷电中和方法标准，在科研、先进材料的研发等相关

XPS分析测试中被广泛使用。目前现行国标GB/T25