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微透镜阵列光学特性测试方法标准化研究报告

StandardizationResearchReportonOpticalCharacteristicsTestMethodsforMicrolensArrays

摘要

微透镜阵列作为现代光学系统中的核心元件，在光束匀化、分束、阵列成像、波前调制等领域具有不可替代的作用。随着5G通信、3D视觉传感、激光加工、医疗美容等行业的快速发展，微透镜阵列的应用范围不断扩大，产业化程度显著提升。然而，由于缺乏统一的光学特性测试标准，不同制造商采用的光刻刻蚀法、超精密车削法、模压法等多种加工方法导致产品质量参差不齐，严重制约了行业健康发展。本报告系统分析了《光学和光子学微透镜阵列第3部分：光学特性测试方法》国家标准的立项背景、目的意义及技术内容，重点阐述了有效前后焦距、色差、位置均匀性等关键光学参数的测试原理与方法。通过建立科学、统一的测试标准，将为微透镜阵列的研发、生产、检测和应用提供技术依据，促进产业链协同发展，提升我国在高端光学元件领域的国际竞争力。

关键词：微透镜阵列；光学特性；测试标准；有效焦距；色差；位置均匀性；斯特列尔比；调制传递函数

Keywords:MicrolensArray;OpticalCharacteristics;TestStandard;EffectiveFocalLength;ChromaticAberration;PositionUniformity;StrehlRatio;ModulationTransferFunction

正文

1.标准立项的目的与意义

微透镜阵列是一类具有光束匀化、分束、阵列成像、阵列聚焦探测、激光耦合、探测器耦合等多功能的光学元件。其显著特点是体积小、重量轻、造价低、易集成，能够实现普通光学元件难以达到的微型化、阵列化、集成化、成像和波前转换等先进功能。在具体应用层面，微透镜阵列通过每个通道的独立聚焦实现光束分束；通过各通道独立成像并拼接实现大视场成像和三维成像；通过波前分割与像面重新合成实现波前调制和光束匀化；通过通道并行工作实现光的阵列化集成传输。

在工程应用领域，微透镜阵列展现出日益重要的应用价值和广阔前景。在5G光纤通信系统中，高端光模块采用微透镜阵列实现多路并行传输，在减小体积与成本的同时显著提升数据传输通量；在3D光学视觉传感领域，微透镜阵列实现发射光场调制，推动裸眼3D显示屏、光场相机计算光学成像等产品实现从传统2D平面成像向高精度3D立体成像的技术跨越；在激光医疗、工业加工、航空航天等领域，微透镜阵列成为激光医疗美容手术刀、人眼像差测量设备、工业激光半导体准直泵浦、激光加工波前匀化系统、大气湍流像差自适应光学矫正等设备的核心光学元件。

目前，国内微透镜阵列产业链已初步完善。研究机构包括中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国科学院光电技术研究所、中国科学院长春光学机械研究所、清华大学、浙江大学、复旦大学等知名科研院所；开发制造企业有珠海迈时、舜宇光学、瑞声科技、水晶光电、蓝特光学、高意科技、苏大维格等行业领军企业；应用单位涵盖电科声光电公司、航天8358所、航天508所、华为、海信、旭创科技等重要厂商。此外，海纳光电、维尔克斯光电等企业积极开展微透镜阵列的贸易业务，形成了完整的产业生态。

然而，随着产业化进程加速，不同企业采用的光刻刻蚀法、超精密车削法、模压法、注塑法、纳米压印法、溶胶凝胶法等加工方法各异，导致产品性能评价缺乏统一标准。微透镜阵列的光学特性，包括有效前/后焦距、色差、位置均匀性等关键参数，亟需建立科学的测试方法规范。标准化测试方法的建立将解决应用单位选型困难、供货方交付依据不足等问题，推动国内微透镜阵列自主研制和产业健康发展。

2.标准范围与主要技术内容

2.1标准范围

本标准规定了微透镜阵列的有效前/后焦距、色差、位置均匀性等光学特性的测量原理、测试设备、测试程序及耦合效率、成像质量评定要求。标准适用于各类微透镜阵列的光学特性测量，为产品质量控制和应用选型提供技术依据。

2.2主要技术内容

微透镜阵列光学特性测试主要包括以下关键技术参数和方法：

有效前后焦距测试：采用干涉法和共焦显微成像法，通过精确测量微透镜阵列中每个子透镜的有效前后焦距，计算焦距均匀性。干涉法基于波前相位测量原理，具有纳米级精度；共焦显微成像法则通过轴向扫描获得透镜的焦点位置，两种方法互补验证，确保测量结果的准确性和可靠性。

色差测试：基于干涉法和共焦显微成像法，测试微透镜阵列在不同波长下的有效前后焦距，计算色差参数。通过选择特征波长（如486.1nm、587.6nm、656.3nm），定量评估微透镜在不同光谱条件下的成像性能，为彩色成像系统设计提供数据支持。

位置均匀