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微结构介电材料柔性传感器的结构优化研究
目录
内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2柔性电子技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.3微结构介电材料传感器的核心优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.4国内外研究现状概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.5本文研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
微结构介电材料基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.1介电性能物理机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.2微结构单元设计原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.3材料选型依据与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.4传感器模型等效电路分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.5关键工艺制备技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
传感器结构设计与方法论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.1三维几何形态优化模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.2弯曲工况下的应力分布模拟．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.3电场耦合效应数值分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
3.4结构拓扑关系重构算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.5多目标协同设计流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
传感性能仿真验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.1输出特性响应预测模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
4.2灵敏度对比实验设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.3温湿度动态干扰抑制措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
4.4长期稳定性耐久性测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.5结果误差分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
复合制备工艺创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
5.1注塑成型工艺改进方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
5.2表面微纹理沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
5.3层间粘合增强工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
5.4材料改性思路与路径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
5.5制造成本三维分析模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
实验系统搭建与测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
6.1标准化测试环境配置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
6.2动态弯曲工况实验方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
6.3信号采集处理系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
6.4空间变化率时域分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78
6.5性能指标客观数据统计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80
核心创新结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85
7.1制备工艺协同优化机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．86
7.2关键参数耦合匹配规律．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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