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2025年中国氦检漏回收装置数据监测研究报告.docx

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    2025年中国氦检漏回收装置数据监测研究报告

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    TOC\o1-3\h\z\u17007摘要 3

    5255一、氦检漏回收装置核心技术机理与物理实现路径 5

    276241.1质谱检测与真空系统耦合的底层物理机制 5

    120871.2氦分子捕获与分离过程中的热力学与流体动力学建模 7

    127061.3高精度传感器与实时反馈控制的集成逻辑 9

    2888二、装置系统架构的模块化设计与工程实现细节 12

    189002.1多级真空泵组与冷阱协同工作的拓扑结构解析 12

    84842.2气体回收回路中压力-流量动态平衡的控制策略 15

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