激光器和激光相关设备 角分辨散射的测试方法.pdfVIP

激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法

1范围

本文件描述了光学元件角分辨散射的测试原理，规定了散射几何关系、测量方法、测量步骤、测试

报告等内容。

本文件适用于光学元件（如镀膜或未镀膜的光学元件、光子结构和透明、半透明或不透明的材料）

的5nm~15µm光谱范围角度分辨散射。包括对样品周围散射球的散射，通常分为前后两个半球。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO11145光学和光子学—激光器和激光相关设备—词汇和符号

ISO14644-1洁净室和相关受控环境—第1部分：通过粒子浓度对空气洁净度进行分级

3术语和定义

ISO11145中给出的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

散射辐射（scatteredradiation）

偏离镜面反射光路的入射辐射的一部分。

[来源：ISO13696:2002,3.1.1]

3.2

探测器立体角（detectorsolidangle）



s

探测器孔径相对于坐标原点的立体角。

3.3

角分辨散射（angleresolvedscattering）

ARS

(,)PP

sssis

散射到方向的辐射功率相对于入射辐射功率和探测器立体角（3.2）：

P(,)

%sss

f(,)(1)

ssP

is

注：用ARS除以可将ARS变换为双向反射、透射或散射分布函数，BRDF、BTDF或BSDF（）：

cossfr

1

%

f(,)

f(,)=ss(2)

rsscos

s

注：ISO13696中定义的总散射可以通过相应散射半球内的数值积分由ARS得到。法向入射和反射的散射积分为：