双侧入光Pattern设计及网点直径调整优化研究.pdfVIP

双侧入光Pattern设计及网点直径调整优化研究.pdf

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网点直径数值矩阵输出:

12345678910

157.68358.79158.41956.57553.58249.99446.41143.3140.96639.458

238.51540.70842.53643.42543.20242.12440.66739.2838.25437.708

323.40126.17629.39432.19334.08335.05935.42135.53335.66635.963

419.97322.26525.10227.82630.00831.55432.60433.3834.06934.782

523.36124.73526.40128.05829.50230.67431.62832.45733.24834.053

626.46827.23328.08528.94729.76930.53931.2733232.74233.517

727.45828.01528.58729.1729.76330.36830.99331.64632.33233.056

827.54628.05228.5629.07529.60530.15530.73131.33731.977

网点参数设置

ImportFile|DLT1981LOI.datImportDate.ExportData|DistributionImage|Mies

E234567891011

ExportFile|DLT1981L01J1

i49.9147.28■40.9534.1329.1726.525.4125.06249724962々

EmittingArea|413.4

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