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等厚干涉实验报告完整版（最新）

一、实验背景与意义

（一）实验背景

等厚干涉是薄膜干涉的重要形式，指光在厚度不均匀的薄膜上下表面反射后形成的干涉现象，其干涉条纹与薄膜等厚线重合，故得名“等厚干涉”。17世纪，物理学家牛顿首次观察到凸透镜与平面玻璃接触时形成的环状干涉条纹（后称“牛顿环”），开启了等厚干涉的研究历程。随着光学技术发展，等厚干涉从经典物理实验逐步拓展至精密测量、材料检测等工程领域，成为光学测量技术的核心基础之一。

现代实验中，等厚干涉的研究与应用呈现三大趋势：一是测量设备数字化，传统读数显微镜逐步被CCD图像采集系统、智能测微平台替代，实现干涉条纹的自动识别与数据精准提取；二是应用场景精细化，从基础的曲率半径测量延伸至半导体晶圆平整度检测、生物薄膜厚度分析等微纳领域；三是误差控制系统化，通过环境隔振、光源优化、算法校正等手段，将测量精度提升至纳米级。本实验基于数字化实验平台，结合牛顿环与劈尖干涉两种典型等厚干涉现象，开展基础测量与应用探究。

（二）实验意义

理论认知价值：通过实验验证光的波动性，深化对干涉条件、半波损失、光程差等核心光学概念的理解，构建“理论推导-实验验证-误差分析”的科学思维体系。

技术应用价值：掌握等厚干涉在精密测量中的实践方法，包括平凸透镜曲率半径、细丝直径、薄膜厚度等物理量的测量技巧，为工程检测、材料科学等领域的实践奠定基础。

方法创新价值：对比传统机械测量与现代数字化测量的差异，探索基于图像识别的干涉条纹分析方法，培养实验技术革新与数据处理能力。

行业支撑价值：等厚干涉技术广泛应用于光学元件加工（如透镜曲率检测）、半导体制造（如晶圆平整度控制）、生物医学（如细胞层厚度测量）等领域，实验所获技能具备明确的产业应用场景。

二、实验原理

（一）等厚干涉基本原理

当一束单色平行光垂直入射到厚度不均匀的透明薄膜时，薄膜上下表面反射的两束反射光存在光程差，满足相干条件而发生干涉。设薄膜折射率为n，某点薄膜厚度为e，两束反射光的光程差Δ满足：

Δ=2ne+λ/2

其中，λ/2为光从光疏介质射向光密介质反射时产生的半波损失（若上下表面反射均存在或均不存在半波损失，此项可省略）。

当光程差满足干涉加强条件时：

2ne+λ/2=kλ（k=0,1,2,...）

形成亮条纹；当满足干涉减弱条件时：

2ne+λ/2=(2k+1)λ/2（k=0,1,2,...）

形成暗条纹。由于同一条干涉条纹对应薄膜厚度相同的点，故条纹呈等厚分布。

（二）牛顿环干涉原理

牛顿环实验装置由平凸透镜（曲率半径R）与平面玻璃组成，二者中心接触，边缘分离，形成空气薄膜（n=1），其厚度随离中心距离r的增大而增大，满足e=r2/(2R)（几何近似条件：Re）。

代入暗条纹光程差公式：

2*(1)*e+λ/2=(2k+1)λ/2→2e=kλ

将e=r2/(2R)代入得：r2=kRλ→R=r2/(kλ)

实际测量中，由于中心接触点存在灰尘或形变，条纹中心并非理想暗点，故采用测量第m级与第n级暗环直径的方法消除系统误差。设第m级暗环直径为Dm，第n级暗环直径为Dn，则：

Dm2=4Rmλ，Dn2=4Rnλ→Dm2-Dn2=4R(m-n)λ→R=(Dm2-Dn2)/(4(m-n)λ)

此公式为牛顿环测量曲率半径的核心公式，规避了中心级次k的不确定性。

（三）劈尖干涉原理

劈尖干涉装置由两片平面玻璃组成，一端夹入细丝（或薄片），形成夹角θ极小的空气劈尖（n=1）。劈尖厚度e与离棱边距离x满足e=xθ（θ≈tanθ=d/L，d为细丝直径，L为劈尖棱边至细丝的距离）。

代入暗条纹光程差公式：2e+λ/2=(2k+1)λ/2→e=kλ/2

故xθ=kλ/2→x=kλ/(2θ)。相邻暗条纹间距Δx=xk+1-xk=λ/(2θ)，则θ=λ/(2Δx)。

结合θ=d/L，得细丝直径d=Lλ/(2Δx)。通过测量劈尖长度L与相邻暗条纹平均间距Δx，可计算细丝直径。

（四）数字化测量原理

现代实验采用CCD图像采集系统替代传统读数显微镜，其原理为：干涉条纹经光学镜头成像于CCD感光面，CCD将光信号转换为电信号，通过图像采集卡传输至计算机，经专用软件（如Origin、Matlab）进行条纹定位与尺寸测量。该方法可实现条纹直径/间距的自动识别，测量精度达0.001mm，优于传统机械读数（0.01mm）。

三、实验仪器与试剂

（一）核心实验仪器

数字化牛顿环装置（型号：DH-N200）

组成：平凸透