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2025年半导体设备清洁合同协议

本合同由以下双方于______年____月____日在中国境内签订：

甲方（客户）：[公司全称]

法定代表人：[姓名]

注册地址：[地址]

联系人：[姓名]

联系方式：[电话/邮箱]

乙方（服务商）：[公司全称]

法定代表人：[姓名]

注册地址：[地址]

联系人：[姓名]

联系方式：[电话/邮箱]

鉴于甲方拥有半导体生产设备并需要专业的清洁服务以维持设备性能和稳定性，乙方具备相应的清洁服务能力和资质，双方经友好协商，达成如下协议：

第一条定义

1.1本合同所称“半导体设备”指甲方用于半导体生产的各类设备，具体包括：[列明设备类型或清单]。

1.2本合同所称“清洁区域”指半导体设备内部和外部需要清洁的具体部位，包括但不限于：反应腔体、光学系统、机械臂、管道、阀门、控制面板、样品传送带等。

1.3本合同所称“清洁标准”指乙方进行清洁服务应遵循的技术规范和效果要求，具体依据：[约定标准，如ISO14644系列、客户内部标准、双方协商标准]。

1.4本合同所称“服务费用”指乙方提供本合同约定的清洁服务应收取的费用。

1.5本合同所称“不可抗力”指不能预见、不能避免并不能克服的客观情况，包括但不限于自然灾害、战争、动乱、政府行为、严重疫情等。

第二条服务范围与内容

2.1乙方应根据本合同约定，在甲方指定地点对甲方的半导体设备提供清洁服务。

2.2清洁服务的具体内容包括：对约定的清洁区域进行清洁操作，使用符合甲方要求的清洁剂和耗材，按照约定的清洁方法进行作业，并在清洁完成后清理现场。

2.3清洁频率为：[例如，每月对设备A进行一次深度清洁，每季度对设备B进行一次预防性清洁]。

2.4年度清洁服务计划如下：[列出主要清洁设备及大致执行月份]。

2.5清洁方法包括但不限于：超声波清洗、高压水冲洗（需符合甲方规定压力和范围）、化学清洗（具体化学品需经甲方批准）、手动擦拭、空气吹扫等。

2.6乙方应使用甲方批准或符合行业标准的清洁剂、耗材，并确保其安全性及对设备的兼容性。所有化学品使用前需报甲方备案。

2.7乙方在每次清洁完成后，应向甲方提交清洁报告，内容包括清洁过程、使用的化学品、清洁时长、发现的问题及处理情况、清洁效果评估等。

第三条服务时间与安排

3.1清洁服务应在不影响甲方正常生产的前提下进行，具体时间由双方根据甲方生产计划协商确定。

3.2乙方应在收到甲方清洁预约请求后，根据双方协商的时间安排进行服务。

3.3甲方应至少提前24小时向乙方提供清洁预约请求。

3.4如遇紧急情况需要额外清洁，双方应协商确定服务时间和费用。

第四条双方权利与义务

4.1甲方的权利与义务：

(1)有权要求乙方按照合同约定提供服务，并监督服务过程。

(2)有权审核乙方的清洁方案和使用的化学品是否符合要求。

(3)应提供清洁服务所需场地、水源、电源接入，并确保安全。

(4)应在清洁期间配合乙方工作，确保清洁区域无关人员退出。

(5)应对乙方工作人员进行必要的设备操作和安全规程培训。

(6)应按照环保规定，妥善处理乙方产生的清洁废弃物。

(7)应按时足额支付服务费用。

4.2乙方的权利与义务：

(1)有权按照合同约定收取服务费用。

(2)有权要求甲方提供必要的服务条件和配合。

(3)必须按照合同约定的范围、标准、频率和时间执行清洁服务。

(4)必须使用合格的专业人员并佩戴必要的安全防护用品。

(5)必须遵守甲方的安全规定和环境管理规定，特别是化学品管理和废弃物处理规定。

(6)必须保护甲方的商业秘密和技术信息。

(7)清洁完成后必须提交清洁报告。

(8)应确保清洁过程中不损坏甲方设备，如有损坏应承担赔偿责任。

第五条安全、保密与知识产权

5.1双方应共同遵守安全生产规定。乙方应对其工作人员进行安全培训，并负责处理清洁过程中涉及化学品的安全问题。甲方应提供必要的安全指引和防护区域。

5.2双方应对在合作过程中获悉的对方商业秘密（包括但不限于技术信息、工艺数据、经营信息等）承担保密义务，非经对方书面同意，不得向任何第三方泄露。保密期限为本合同有效期内及合同终止后两年。

5.3乙方不得侵犯甲方的知识产权，包括但不限于设备设计、内部流程等。乙方的清洁服务方法若为乙方专有技术，归乙方所有，但不得损害甲方利益。

第六条服务费用与支付

6.1本合同服务费用采用[例如，固定年费]模式，年度总费用为人民币[金额]元（大写：[金额大写]）。

6.2费用包含：[列明包含的服务内容，如所有清洁服务、清洁剂、耗材、报告等]。

6.3费用不包含：[列