第2讲电阻传感器.pptVIP

第二节固态压阻式传感器--------半导体传感器压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。半导体压阻式传感器分类①粘贴式应变片②扩散硅型压阻传感器特点：灵敏系数大，分辨率高，动态响应快，体积小，温度范围宽，便于批量生产，易于集成化、智能化。本节介绍扩散硅型压阻传感器第29页，共61页，星期日，2025年，2月5日设半导体材料的压阻系数为，材料受到的应力为σ，有一、工作原理与结构对于半导体材料，其电阻率的变化为：在弹性变形限度内，压阻效应是可逆的，当应力消失时，硅片的电阻会恢复原来数值。注意：晶体在不同的方向上，压阻效应数值不同。第30页，共61页，星期日，2025年，2月5日压阻效应传感器的核心-----------硅膜片内部电路膜片芯体示意图引出线第31页，共61页，星期日，2025年，2月5日二、压阻式压力传感器硅杯高压腔低压腔硅膜片引线引线第32页，共61页，星期日，2025年，2月5日三、压阻式加速度传感器基座扩散电阻质量块梁第33页，共61页，星期日，2025年，2月5日四、压阻式传感器的应用因为压阻式传感器具有灵敏度高、动态响应快、体积小、温度范围宽、便于批量生产、易于集成化、智能化的优点。在航空、航海、石油、化工、机械、兵器、医疗等各方面获得广泛应用。机械：实时检测各种机器设备、生产线的气液压力等航空：飞机发动机压力、物体加速度等兵器：枪炮膛内压力、爆炸压力、冲击波压力等医疗：测量心脑血管、颅内、尿道、眼球内压力等其他：自来水管网压力检测震动检测过山车加速度检测等第34页，共61页，星期日，2025年，2月5日第三节热电阻式温度传感器热电阻传感器分类：金属热电阻==热电阻半导体热电阻==热敏电阻热电阻传感器-----利用导体或半导体的电阻值随温度变化而变的物理现象进行温度检测。一、热电阻优点：（1）电阻-温度变化具有良好的线性关系；（2）电阻温度系数大，故测量精度高；第35页，共61页，星期日，2025年，2月5日（3）热容量小，反应速度快；（4）有较大的测量范围；－200～500℃；（5）在测量范围内具有高的物理和化学性质，价格较低。（5）易于使用在自动测量和远距离测量中。（一）铂电阻铂热电阻的特点是精度高、稳定性好、性能可靠,所以在温度传感器中得到了广泛应用。铂热电阻的特性方程：在0~650℃的温度范围内:在-200~0℃的温度范围内:Rt和R0分别为t℃和0℃时铂电阻值;A、B和C为常数。第36页，共61页，星期日，2025年，2月5日目前我国规定工业用铂热电阻有R0=10Ω和R0=100Ω两种,它们的分度号分别为Pt10和Pt100,其中以Pt100为常用。不同分度号有相应分度表,即Rt-t的关系表。实际测量中,只要测得热电阻的阻值Rt,便可从分度表上查出对应的温度值。铂电阻丝银引出线骨架第37页，共61页，星期日，2025年，2月5日铂热电阻Pt100分度表第38页，共61页，星期日，2025年，2月5日（二）铜电阻由于铂是贵重金属,在一些测量精度要求不高且温度较低的场合,可采用铜热电阻测温,测量范围-50~+150℃。铜热电阻在测量范围内电阻值与温度的关系:α为铜热电阻的电阻温度系数，铜热电组的有两种分度号Cu50(R0=50Ω)和Cu100（R100=100Ω）。铜电阻丝骨架铜引出线第39页，共61页，星期日，2025年，2月5日铜热电阻线性好,测温范围小，价格便宜,易氧化,不适宜在腐蚀性介质或高温下工作。铂热电阻线性好，测温范围较大，价格昂贵，不宜氧化，在腐蚀性介质或较高温度下可以工作。热电阻的外形结构接线盒热电阻固定螺纹引线方式有两线制、三线制和四线制,二线制引线电阻对测量影响大,精度低。三线制可以减小连接导线电阻因温度变化所引起的测量误差。四线制可以完全消除误差。第40页，共61页，星期日，2025年，2月5日二、热敏电阻