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低温等离子设备简介与发展趋势
目录
一、低温等离子体技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1低温等离子体基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2低温等离子体生成原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3低温等离子体主要特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4低温等离子体应用领域简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
二、低温等离子设备构成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1能源供应系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.2放电腔体设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.3工作气体控制系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.4诊断与监测系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.5安全保护机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
三、低温等离子设备主要类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.1固体电极放电设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
3.2等离子体射流设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.3射频等离子体设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.4微波等离子体设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.5其他特殊类型设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
四、低温等离子设备应用领域详解．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
4.1医疗领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
4.1.1手术刀辅助．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
4.1.2组织消融治疗．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
4.1.3疾病诊断与检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.2材料表面处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.2.1材料改性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
4.2.2去除污染．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.2.3表面刻蚀．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
4.3微电子工业应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.3.1沉积薄膜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
4.3.2刻蚀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
4.3.3器件制造．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
4.4环境保护应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
4.4.1气体净化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
4.4.2水处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
4.4.3固体废物处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
4.5其他新兴应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
五、低温等离子设备技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
5.1高效能化发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
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