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大尺寸光栅表面缺陷检测技术研究与评价指标
目录
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1技术背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
大尺寸光栅表面缺陷检测技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1光栅工艺简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.2缺陷分类与特征分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.3检测方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
常用检测方法及其优缺点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.1数子图像处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.1.1基于图像增强的缺陷检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.1.2基于机器学习的缺陷检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.2光学检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.2.1光谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.2.2变焦成像．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
3.3电子束检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.3.1电子束扫描．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
3.3.2电子束散斑．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
新型检测技术研究与开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.1基于深度学习的光栅表面缺陷检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.1.1模型构建与训练．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.1.2实验验证与性能评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.2光栅表面缺陷的激光雷达检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
4.2.1探测原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
4.2.2系统设计与实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
4.3光学相干检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
4.3.1相干成像原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68
4.3.2应用案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
检测系统设计与实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
5.1系统架构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
5.2图像采集与处理模块．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
5.3光栅扫描与定位模块．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83
5.4数据分析与显示模块．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．88
评价指标与验证方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．91
6.1宏观评价指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．95
6.1.1检测精度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．97
6.1.2检测速度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．99
6.1.3灵活性与可
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