基底亚表面缺陷：从表征、控制到激光损伤影响的深度剖析.docxVIP

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2025-11-12 发布于上海
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基底亚表面缺陷：从表征、控制到激光损伤影响的深度剖析.docx

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基底亚表面缺陷：从表征、控制到激光损伤影响的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，随着高功率激光技术的飞速发展，高功率激光系统在惯性约束聚变、激光加工、激光通信以及国防军事等众多关键领域都得到了极为广泛的应用，并且发挥着不可或缺的重要作用。作为高功率激光系统的核心组成部分，光学元件的性能直接决定了整个系统的输出功率、光束质量以及稳定性等关键指标。然而，在实际应用过程中，光学元件的激光损伤问题一直是限制高功率激光系统进一步发展的主要瓶颈。

基底作为光学元件的基础支撑结构，其表面和亚表面的质量状况对光学元件的性能以及抗激光损伤能力有着至关重要的影响。基底亚表面缺陷是指存在于基