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2025半导体制造工艺微缩化技术模拟考试试题及解析
一、单选题(单选题共20题,每小题列出的四个备选
项中选项中只有一个是符合题目要求的,多选、错选、不
选均不得分。,共1题)
1.在半导体制造工艺微缩化过程中,以下哪种技术对减
小晶体管尺寸起到了关键作用?
【选项】
A.光刻技术
B.涂覆技术
C.化学蚀刻
D.蒸发技术
【参考答案】A
【解析】光刻技术是半导体制造中用于定义电路
pattern的核心工艺,通过对光刻胶的曝
光
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