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利用纳米压痕测量表层残余应力

摘要

经过差热收缩，薄铜箔产生等量的双轴残余应力（高达约175兆帕）。随后，这些箔片在位

移控制下出现压痕后测量负载—位移—时间特性。实验发现，随着（拉伸）残余应力的增加，

渗透到一定深度（一定时间内）所需的应用负载减小，这与有限元模型测试结果（包括塑性

和蠕变）相符。本文主旨就是关于这种变化的灵敏度。实验观察到，相对较小的残余应力变

化（几十兆帕的顺序排列）能产生影响。这种影响应通过他们对纳米反应的影响检测出。鉴

于这种技术在表征（平面）表层残余应力特别是点对点变化的映射（对应获得准确的绝对值）

的潜力，这是令人鼓舞的。与此相反，它表明残余应力水平变化产生的硬度变化更小且更难

分析。

materialia2011学报，爱思唯尔公司出版，保留所有权利。

关键词：纳米压痕；有限元分析；残余应力；无损检测

1.介绍

一般（平面）残余应力会影响屈服和塑性应变性能，它的存在影响试样近表区压痕响应。曾

有人提出这些压力可运用纳米压痕技术检测和测量。这是个吸引人的想法，因为它能让这样

的残余应力以无损的方式得到快速测量，可能他们能在成分表面被映射—例如，在焊缝。

Tsuietal.[1]研究了纳米压痕技术通过强加弯矩产生的残余应力对硬度（H）和杨氏模

量（E）值的影响。正如预期的一样，实验数据表明E对残余应力并无依赖（测量接触面积

修正后）。但是修正后硬度也不受残余应力的影响，一般来说硬度是受影响的（假设他们有

一个偏差分量）。然而，他们的数据有一定的干扰性，这些实验里，针对对残余应力减小水

平的敏感度很低。其他组在应用残余应力下测到了硬度变化。

Tsuietal.[1]组表明，当堆积发生，传统硬度测量方法容易产生错误。考虑到压头与

试样的实际接触面积使得不确定因素增多，这的确是很有可能的。事实上，任何依靠压头面

积函数的分析都有这种局限—至少对表现明显堆积的材料压痕是这样。随即的文献5，作者

提出了相同的有限元模型（FEM）模拟，模拟表明，除大的（拉伸）残余应力的情况以外，

硬度不受残余应力影响。

徐和李[6]在一项纯理论（FEM）研究报告中说明，随着（拉伸）残余应力的增加，硬度（纳

米压痕技术得到）稍微降低。他们表明高频与最大深度之比可以作为另一种测量方法，它

对残余应力的存在更敏感。这里高频是指残余压入深度，最大深度指最大压头深度。他们也

表明压缩（平面）残余应力对应的这个比例高于拉应力。E/rY值低的材料这种差别更明显。

SureshandGiannakopoulos[7]组建议比较压入相同深度时受力和没受力的材料接

触面积的差别。这个没有可提供的实验数据。该方法已经被广泛当做可行的方法，至少对于

锋利的压头来说，理论估计的差别很小（除了残余应力接近屈服应力时）。

TaljatandPharr[3]组表明，如果运用钝的球形压头，残余应力的影响会更易检测。

因为弹塑性机制转变会更好。他们在纯理论（FEM）研究中发现在弹塑性转变时平均接触压

力在中等压痕深度对残余应力的（大小和符号）变化更敏感。低接触深度时（即小接触面积），

变形纯粹是弹性的，平均压力对残余应力变化并不敏感。大接触面积时，平均接触压力对残

余应力变化也不敏感，因为塑性得到充分发展，变形由大量塑性应变控制。这也许表明，随

着压痕变形继续，决定材料响应的塑性流变很大地影响了压头周围的应力，以至于残余应力

对压头深度产生了非常小的贡献。当然，不断变化的应力场的细节预测需要数值模拟。

Swadener等人[4]组开发了两种从压痕数据确定双轴残余应力的方法。第一种方法测量

所用残余应力下的屈服开始点。然而，他们指出，屈服在低的压痕深度就开始，位移测量结

果不准确。通过最小二乘回归曲线拟合实验高频/最大深度数据—当高频/最大深度等于0时

出现屈服，这种替代方法可确定屈服开始点。应用的拉应力产生早期的屈服。应用的压应力

抑制屈服。Swadener等人[4]组早些时候指出，这两种方法在不同接触面积下的平均接触压

力偏差数值上接近实验残余应力（至少在弹塑性转变机制中）。

使用经验得出的表达涉及到平均接触压力和约束因素的双轴应力，这个双轴残余应力可

以计算出来。然而，这种方法不是普遍适用的。wadener等人[4]组研发这种方法被Lepienski

etal.[8]用来做薄膜残余应力研究。他们发现这种方法不易适用于薄膜，原因有三个：1）

在已知应力状态下获得结构相当的参考试样很难。2）表面粗