溅射氧化耦合法制备W掺杂VO₂纳米薄膜及其性能的多维度研究.docx

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2025-11-14 发布于上海
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溅射氧化耦合法制备W掺杂VO?纳米薄膜及其性能的多维度研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，智能材料在众多领域的应用愈发广泛，二氧化钒（VO?）纳米薄膜作为一种具有独特相变特性的智能材料，受到了科研人员的高度关注。VO?在一定温度（约68℃）下会发生从绝缘态到金属态的可逆相变，这一相变过程伴随着其光学、电学、热学等物理性质的急剧变化。例如，在相变温度以下，VO?呈现出良好的绝缘性和较低的红外透过率；而当温度超过相变温度时，它迅速转变为金属态，电导率大幅提升，同时红外透过率显著增加。这种独特的性质使得VO?在智能窗、光储存、热敏传感器、非制冷红外传感器等领域展现出巨大的