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原子力显微镜：从原理到ZAO薄膜及多材料研究的深度解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今材料科学研究的前沿领域，原子力显微镜（AtomicForceMicroscope，AFM）凭借其独特的技术优势，已成为不可或缺的分析工具。AFM作为一种具有原子分辨率的表面形貌、电磁性能分析仪器，自1985年研发成功以来，为材料微观结构与性能的研究开辟了新的途径。它打破了传统显微镜在分辨率和样品适应性方面的局限，能够对导体、半导体以及绝缘体等各类材料进行原子级别的观察与分析，从而为科学家深入理解材料的本质特性提供了有力支持。

ZAO薄膜（氧化锌铝薄膜，Aluminum-dopedZin