光学移相干涉仪智能抗振平台关键技术的深度剖析与创新研究.docx

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2025-11-16 发布于上海
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光学移相干涉仪智能抗振平台关键技术的深度剖析与创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业与科研领域，精密测量技术扮演着举足轻重的角色，是确保产品质量、推动科学研究进展的关键支撑。光学移相干涉仪凭借其高精度、非接触、全场测量等显著优势，在精密测量领域占据着不可或缺的地位，广泛应用于光学元件面形检测、光学系统像质评价、微机电系统（MEMS）参数测量以及生物医学成像等众多前沿领域。例如，在半导体制造中，对光刻镜头的面形精度要求极高，光学移相干涉仪能够精确检测其微小的面形误差，保障芯片制造的精度和性能；在天文学领域，大口径望远镜的光学镜面质量直接影响观测能力，通过光学移相干涉仪可对镜面进