ZnO与钴掺杂ZnO薄膜的制备工艺及性能差异探究.docx

ZnO与钴掺杂ZnO薄膜的制备工艺及性能差异探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体材料的广袤领域中，ZnO凭借其独特的物理性质，成为了科研人员关注的焦点。作为一种宽带隙半导体材料，ZnO具有六方纤锌矿结构，在室温下拥有高达3.37eV的禁带宽度以及60meV的激子束缚能。这种特性使得ZnO在众多领域展现出了巨大的应用潜力，如在光电器件领域，它被广泛应用于紫外光探测器、发光二极管等的制造。其良好的压电性能，也让它在压电器件中发挥着关键作用，如声表面波器件，能够高效地实现电信号与声信号的相互转换。

随着科技的不断进步，对半导体材料性能的要求也日益提高。为了进一步拓展Zn