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摘要
电源是电子产品中至关重要的一部分，开关电源因其出色的性能而被广泛应用于各类的
电源转换器中，而随着集成电路水平的高速发展和市场对产品愈发小型化的需求，传统开关
电源产品中使用的分立电感（变压器）占位面积大的弊端日益明显，难以满足电源模块小型
化乃至集成化的需求。自上世纪九十年代起，国内外就有学者开始对集成功率电感技术进行
研究，与传统分立电感（变压器）元件相比，集成功率电感具有更好的高频特性，使电路具
有更好的动态响应，可以在体积更小的情况下取得更高的电感密度，而且后期可以与集成电
路集成在同一个基底上，做到完全集成。
本文基于硅基MEMS工艺技术，设计并制造了以Ni45Fe55材料为磁芯的跑道型结构的片
上集成电感。本研究以电磁场理论为基础，对集成电感的感值模型、阻值模型、绕组交直流
损耗模型、磁芯损耗模型进行了理论研究，并同时基于Maxwell进行了仿真分析。然后使用
与集成电路工艺相兼容的MEMS工艺制备了集成电感，包括光刻、气相沉积、电镀、湿法工
艺。在本研究中利用阻抗分析仪对集成电感样品进行了1~100MHz的小信号测试，该电感在
直至50MHz时都有214nH的较稳定的感值，感值下降不超过10%，最大Q值为9.23（9.2
MHz），直流电阻为0.47Ω。基于SEMTECH公司的开关频率为20MHz的BUCK开关电源
芯片SC220设计了对集成电感的测试电路，输入电压2.7V，输出电压1.8V，输出电流200
mA的情况下，使用集成电感的电路达到了80.27%的转换效率。作为对比，使用集成在PCB
上的空气芯电感的电路的转换效率为84.93%，其占位面积为32mm2，感值密度仅有7.16
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nH/mm，而集成电感的占位面积仅为2.9mm，感值密度为73.8nH/mm，具有巨大的面积优
势和感值密度优势。在文章的最后，还对电路中的功耗进行了详尽的分析和讨论，在忽略PCB
板上寄生参数损耗的情况下，电感的效率最高能达到92.71%。
关键词：片上集成电感，电感分析模型，有限元仿真，MEMS工艺，片上集成电源
Ω.Thetestcircuitofmicroinductorwasdesignedbasedonacommercially
available20MHzbuckconverterfromSemtech.Comparetoefficiencyof84.93%ofaPCB
integratedair-coreinductor,themeasuredefficiencyofthebuckconverterusingthemicro-inductor
is80.27%,whentheinputvoltage2.7V,outputvoltage1.8V,outputcurrent200mA.whiletheair-
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coreinductoroccupiesanareaof32mmwithinductancedensityonlyof7.16nH/mm.Butthearea
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oftheintegratedinductorisonly2.9mm,andtheinductancedensityofmicroinductoris73.8
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nH/mm,whichshowsgreatareaandinductancedensityadvantagesthanthePCBair-coreindu
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