车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析.pdfVIP

HotWorkingTechnology2019,Vol.48,No.18

车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层

组织和摩擦性能分析

杨晨,李伟

(郑州科技学院机械工程学院,河南郑州450064)

摘要：采用高功率脉冲与脉冲直流磁控溅射相结合的方法，在车用316L不锈钢表面制备得到CrAlN涂层，分析

了各基体偏压状态下CrAlN涂层的化学成分及其组织和性能的变化。结果表明：当基体偏压提高后，涂层的（111）晶面

衍射峰发生了小角度偏移的变化。随着偏压由0V逐渐增大至-25V时，得到的CrAlN涂层硬度和弹性模量分别升到

最大值23.2GPa和228GPa。当基体偏压上升后，涂层厚度发生了先增大再降低的变化现象，最小涂层厚度约1.41

μm。并且当偏压增大后CrAlN涂层也达到了更大的内应力，最大值出现于-100V，等于2.52GPa。当基体偏压提高后，

得到的CrAlN涂层摩擦系数不断降低，从0.49减小为0.31，在0V下达到了最大的磨损率。可以发现，当基体偏压升高

后，涂层的磨损作用降低，并且磨痕宽度也变小。

关键词：脉冲磁控溅射；CrAlN涂层；力学性能；磨擦性能

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.18.022

中图分类号：文献标识码：文章编号：

TG174.4A1001-3814(2019)18-0090-05

AnalysisofMicrostructureandFrictionPropertiesofCrAlNCoating

on316LStainlessSteelSurfacebyPulsedMagnetronSputtering

YANGChen,LIWei

(CollegeofMechanicalEngineering,ZhengzhouUniversityofScienceTechnology,Zhengzhou450064,China)

：

AbstractTheCrAlNcoatingwaspreparedonthesurfaceof316LstainlesssteelbyhighpowerpulseandpulseDC

magnetronsputtering.Thechemicalcomposition,microstructureandpropertiesofCrAlNcoatingsunderbiasvoltagewere

analyzed.Theresultsshowthat,whenthebiasvoltageofthesubstrateincreases,thediffractionpeakofthe(111)crystalpl