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光谱仪重要参数定义

光谱仪重要参数定义

◆CCD

电荷耦合器件(ChargerCoupledDevice,缩写为CCD),硅基光敏元件的响应范围在短波近红外区

域。

◆PDA

二极管阵列(PhotodiodeArray,缩写为PDA)、光电二极管阵列就是由多个二极管单元(象素)组成的阵

列,单元数可以就是102,256或1024。当信号光照射到光电二极管上时,光信号就会转换成电信号。大部分

光电二极管阵列都包括读出/积分放大器一体式的集成化信号处理电路。光电二极管的优点就是在近红外灵

敏度高,响应速度快;缺点就是象元数较少、在紫外波段没有响应。

◆薄型背照式

薄型背照式电荷耦合器件(BT—CCD,BackThinnedChargeCoupledDevice),采用了特殊的制造工

艺与特殊的锁相技术。首先,与一般CCD相比,硅层厚度从数百微米减薄到20μm以下;其次,它采用背照射

结构,因此紫外光不必再穿越钝化层。因此,不仅具有固体摄像器件的一般优点,而且具有噪声低,灵敏度高、

动态范围大的优点。

BTCCD有很高的紫外光灵敏度,它在紫外波段的量子效率可以瞧到,在紫外波段,量子效率超过40％,可

见光部分超过80％,甚至可以达到90％左右。可见,BTCCD不仅可工作于紫外光,也可工作于可见光,就是一

种很优秀的宽波段检测器件。

◆狭缝

光源入口。狭缝面积影响通过的光强度。狭缝宽度影响光学分辨率。

◆暗电流

未打开光谱仪激发光源时,感光器件接收到的光电信号。主要影响因素有温度,电子辐射等。

◆分辨率

光学分辨率定义为光谱仪可以分开的最小波长差。要把两个光谱线分开至少要把它们成象到探测器的

两个相临象元上。分辨率依赖于光栅的分辨本领、系统的有效焦长、设定的狭缝宽度、系统的光学像差以

及其它参数。光栅决定了波长在探测器上可分开的程度(色散),这对于分辨率来说就是一个非常重要的变量。

另一个重要参数就是进入到光谱仪的光束宽度,它基本上取决于光谱仪上安装的固定入射狭缝或入射光纤

芯径(当没有安装狭缝时)。狭缝的尺寸有:10,25或50μm×1000μm(高)或100,200或500μm×2000

μm(高)。在指定波长处,狭缝成象到探测器阵列上时会覆盖几个象元。而如果要分开两条光谱线,就必须把

它们色散到这个象尺寸加上一个象元。当入射光纤的芯径大于狭缝的宽度时,分辨率就要由狭缝的宽度(有效

宽度)来决定。

光谱仪分辨率可近似如下度量:R∝M·F/W

其中M为光栅线数,F为谱仪焦距,W为狭缝宽度。

◆色散

光谱仪的色散决定其分开波长的能力。光谱仪的倒线色散可计算得到:沿光谱仪的焦平面改变距离χ引

起波长λ的变化,即:Δλ/Δχ=dcosβ/mF

这里d、β、F分别就是光栅刻槽的间距、衍射角与系统的有效焦距,m为衍射级次。由方程可见,倒线

色散不就是常数,它随波长变化。在所用波长范围内,变化可能超过2倍。

◆光栅与闪耀波长

光谱仪重要参数定义

光栅作为重要的分光器件,它的选择与性能直接影响整个系统性能。光栅分为刻划光栅、复制光栅、全

息光栅等。刻划光栅就是用钻石刻刀在涂薄金属表面机械刻划而成;复制光栅就是用母光栅复制而成。典型

刻划光栅与复制光栅的刻槽就是三角形。全息光栅就是由激光干涉条纹光刻而成。全息光栅通常包括正弦

刻槽。刻划光栅具有衍射效率高的特点,全息光栅光谱范围广,杂散光低,且可作到高光谱分辨率。

光栅主要参数:

1、闪耀波长,闪耀波长为光栅最大衍射效率点,因此选择光栅时应尽量选择闪耀波长在实验需要波长附

近。如实验为可见光范围,可选择闪耀波长为500nm。

2、光栅刻线,光栅刻线多少直接关系到光谱分辨率,刻线多光谱分辨率高,刻线少光谱覆盖范围宽,两者

要根据实验灵活选择。

3、光栅效率,光栅效率就是衍射到给定级次的单色光与入射单色光的比值。光栅效率愈高,信号损失愈

小。为提高此效率,除提高光栅制作工艺外,还采用特殊镀膜,提高反射效率。

闪耀光栅

非闪耀光栅其能量分布与单缝