《GB_T 36176-2018真空技术 氦质谱真空检漏方法》专题研究报告.pptxVIP

;目录;;真空技术的检漏需求：为何精准检漏是真空系统的“生命线”？;（二）氦质谱检漏的独特优势：是什么让氦气成为检漏“理想探针”？;（三）GB/T36176-2018的制定背景：行业发展如何推动标准落地？;;核心术语界定：GB/T36176-2018中的“漏孔”“漏率”等基础概念有何精准定义？;（二）符号与单位规范：为何统一“漏率单位”等符号表述是行业协同的前提？;（三）术语与符号的应用边界：标准定义如何适配不同场景的检漏需求？;;灵敏度指标：检漏仪的“最小可检漏率”如何衡量？GB/T36176-2018的要求是什么？;（二）本底漏率控制：如何降低系统本底对检测结果的干扰？标准给出哪些解决方案？;;;;（二）喷氦法（吸枪法）：小型精密器件检漏的首选？标准规定的操作流程是什么？;（三）其他方法对比：氦质谱检漏与压力检漏、氢检漏的适用场景有何差异？;;前期准备：被检件的预处理与系统调试，哪些环节最易被忽视？;（二）过程操作：喷氦法的喷枪移动、氦气流量控制有何精准要求？;（三）收尾工作：数据记录与系统维护，标准如何要求以保障后续追溯？;;漏率判定标准：如何根据被检件的“允许漏率”判断合格与否？;;;;定期校准：标准漏孔的选择与校准周期，GB/T36176-2018有何强制规定？;（二）日常维护：真空泵、质谱仪灯丝等核心部件的维护要点是什么？;（三）设备报废评估：哪些指标表明检漏仪已无法满足标准要求？;;氦气使用安全：高压氦气瓶的储存与操作，标准强调哪些防护措施？;;;;半导体领域：芯片制造中真空腔体的检漏要求，标准如何保障良率提升？;（二）航空航天领域：航天器密封件的检漏挑战，标准如何满足极端环境需求？;;;技术创新方向：智能化与微型化，氦质谱检漏仪将有哪些突破？;;（三）行业发展展望：GB/T36176-2018如何引领我国检漏技术走向国际？