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2025年中国半导体工艺线集成化管理系统数据监测研究报告.docx

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    2025年中国半导体工艺线集成化管理系统数据监测研究报告

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    TOC\o1-3\h\z\u23194摘要 3

    19675一、半导体工艺线集成化管理系统的底层运行机制与数据流架构 4

    42231.1工艺控制闭环中的实时数据采集与反馈逻辑 4

    103821.2多源异构设备数据融合的标准化接口机制 7

    247961.3系统级集成对良率提升的量化作用路径 10

    31275二、中国晶圆厂在集成化管理系统部署中的差异化实践图谱 13

    236852.1成熟制程与先进制程产线的系统配置策略对比 13

    30282.2国产替代背景下本土MES/SPC/

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