基于回音壁模式毛细管光学谐振腔的磁场传感研究.pdfVIP

摘要

回音壁模式光学谐振腔具有高品质因数、小模式体积等优势，可以极大增强腔内光场与

物质之间的相互作用。基于回音壁模式光学谐振腔的磁场传感器可以快速的探测磁场信号，

具有抗电磁干扰、宽频带、低功耗、室温工作等优点。本文在现有的回音壁模式光学谐振腔

的研究基础上，采用磁致伸缩材料(FeGa和Terfenol-D粉末)与毛细管构成的回音壁模式光学

谐振腔构建了磁场传感器，实现了交变磁场和直流磁场探测。

本论文主要完成了以下几个方面研究内容：

首先，在腔结构加工方面，提出了一种加工回音壁模式毛细管谐振腔的方法，实验上制

备了能够响应磁场信号的填充FeGa与Terfenol-D两种磁致伸缩材料的毛细管谐振腔，对其

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光学品质因数进行测试，获得了品质因数达10的回音壁模式光学微腔。

其次，在腔交流磁场传感方面，实现了激光器波长对腔特定波长的锁定，在锁定的基础

上，利用网络分析仪和电学谱仪实现了交流磁场信号的探测。分别测试了FeGa和Terfenol-D

两种磁致伸缩材料构成的交流磁场传感结构的磁场探测灵敏度、探测频带等传感性能。基于

FeGa材料的交流磁场传感结构的最佳磁场探测灵敏度在347.50kHz达2.80μT/Hz，基于

Terfeno-D粉末材料的交流磁场传感结构在507.80kHz频率处获得最佳探测灵敏度，为46.97

μT/Hz。此外，通过额外引入直流磁场，FeGa材料和Terfenol-D粉末材料的交流磁场传感

结构的最佳灵敏度可以得到进一步提升，达326.80nT/Hz和10.12μT/Hz，分别提高了7.57

倍和3.64倍。

最后，在腔直流磁场探测方面，提出了一种基于交流磁场信号解调直流磁场信号强度的

传感方案。测试了基于Terfenol-D材料磁场传感结构的直流磁场传感性能，获得了不同交流

磁场调制频率下的直流磁场传感灵敏度。基于Terfenol-D材料的磁场传感结构在118kHz交流

磁场信号的调制下获得了1.26dB/mT的直流磁场传感灵敏度。而后，采用FeGa丝代替随机

的Terfenol-D颗粒，通过替换磁致伸缩材料，同样的传感方案，在579kHz交流磁场信号的调

制下获得了2.06dB/mT的直流磁场传感灵敏度，将灵敏度提升了0.6倍。

本文提出的交流磁场信号解调直流磁场的光学谐振腔直流磁场传感方案，为基于回音壁

模式光学谐振腔直流磁场传感器件设计提供了新思路和实验依据。

关键词：回音壁模式光学谐振腔，磁致伸缩材料，直流磁场传感，交流磁场传感

ABSTRACT

Thewhisperinggallerymodeopticalresonatorshavetheadvantagesofhighqualityfactorand

smallmodevolume,whichprovidesusaplatformwithenhancedlight-matterinteraction.The

magnetometerbasedonWGMopticalresonatorshavetheadvantagesoffastdetection,anti-

electromagneticinterference,widefrequencyband,lowpowerconsumption,androomtemperature

operation.Therefore,inthispaper,wechoosethesamesystemtoconductourstudyonthemagnetic

fieldsensor.Theproposedsensorbasedonwhisperinggallerymodeopticalresonatoriscomposed

ofmagnetostrictivematerials(FeGaandTerfenol-