测量集成霍尔传感器的灵敏度.pptVIP

第1页，共35页，星期日，2025年，2月5日8.1霍尔效应及霍尔元件8.1霍尔效应及霍尔元件8.1.1霍尔效应位于磁场中的静止载流导体，当其电流I的方向与磁场强度H的方向之间有夹角α时，则在载流导体中平行与H、I的两侧面之间将产生电动势，这一物理现象称为霍尔效应。第2页，共35页，星期日，2025年，2月5日如图8-1所示，图8-1霍尔效应原理第3页，共35页，星期日，2025年，2月5日其洛仑兹力大小可表示为FL=－q0vB静电场对电子的作用力上式连立:第4页，共35页，星期日，2025年，2月5日式中:霍尔系数（m3/C）霍尔器件的灵敏系数8.1.2霍尔元件和测量电路１．霍尔元件霍尔元件的结构如图8-2所示。第5页，共35页，星期日，2025年，2月5日图中的矩形薄片状的立方晶体称为基片，在它的两垂侧面上各装有一对电极，电极1-1用以加激励电压或流过激励电流，故称为激励电极，电极2-2作为霍尔电势UH的输出，故称为霍尔电极，基片的尺寸要求厚度d越薄越好，d越薄，霍尔元件的灵敏系数越大，在基片外面用金属或陶瓷、环氧树脂封装作为外壳。图8-3是霍尔元件的通用图形符号。第6页，共35页，星期日，2025年，2月5日图8-2外形结构示意图图8-3图形符号第7页，共35页，星期日，2025年，2月5日2．霍尔元件的测量电路(1)基本测量电路霍尔元件的基本测量电路如图8-5所示。激励电流由电压源E供给，其大小由可变电阻来调节。8-5基本测量电路第8页，共35页，星期日，2025年，2月5日(2)霍尔元件的输出电路在实际应用中，要根据不同的使用要求采用不同的连接电路方式。如在直流激励电流情况下，位了获得较大的霍尔电压，可将几块霍尔元件的输出电压串联，如图8-6（a）所示。在交流激励电流情况下，几块霍尔元件的输出可通过变压器接成如图8-6（b）的形式，以增加霍尔电压或输出功率。(a)直流激励(b)交流激励图8-6霍尔元件的输出电路第9页，共35页，星期日，2025年，2月5日8.1.3霍尔元件的主要特性参数1．输入电阻Ri和输出电阻Ro定义霍尔元件激励电极之间的电阻称为输入电阻Ri。霍尔电极之间的电阻称为输出电阻Ro2．额定激励电流IN和最大允许激励电流Imax霍尔元件在空气中产生的温升为10℃时，所对应的激励电流称为额定激励电流IN。以元件允许的最大温升为限制，所对应的激励电流称为最大允许激励电流Imax。第10页，共35页，星期日，2025年，2月5日3．不等位电势和不等位电阻当霍尔元件的激励电流为额定值IN时，若元件所处位置的磁感应强度为零，则它的霍尔电势应该为零，但实际不为零，这时测得的空载霍尔电势称为不等位电势。产生原因:主要由霍尔电极安装不对称造成的,由于半导体材料的电阻率不均匀、基片的厚度和宽度不一致、霍尔电极与基片的接触不良（部分接触）等原因，即使霍尔电极的装配绝对对称，也会产生不等位电势。第11页，共35页，星期日，2025年，2月5日补偿方法:任意两相邻的电极之间可视为一个等效电阻,则霍尔元件可视为一四臂电桥,要不等位电势为0,只需电桥输出为零即可,因此采用加调零电位器的方法很好.如图8-7所示.第12页，共35页，星期日，2025年，2月5日4．交流不等位电势与寄生直流电势在不加外磁场的情况下，霍尔元件使用交流激励时，霍尔电极间的开路交流电势称为交流不等位电势。在此情况下输出的直流电势称为寄生直流电势。产生交流不等位电势的原因与不等位电势相同，而寄生直流电势的产生则是由于：（1）霍尔电极与基片间的非完全欧姆接触而产生的整流效应。（2）霍尔电极与基片间的非完全欧姆接触而产生的整流效应，使激励电流中包含有直流分量，通过霍尔元件的不等位电势的作用反映出来。一般情况下，不等位电势越小，寄生直流电势也越小。（3）当两个霍尔电极的焊点大小不同时，由于它们的热容量、热耗散等情况的不同，引起两电极温度不同而产生温差电势，也是寄生直流电势的一部分。第13页，共35页，星期日，2025年，2月5日