公司半导体辅料制备工岗位标准化操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

公司半导体辅料制备工岗位标准化操作规程

文件名称：公司半导体辅料制备工岗位标准化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体辅料制备工岗位的日常操作，旨在确保辅料制备过程的安全生产和产品质量。规程要求所有操作人员严格遵守国家相关法律法规，执行公司安全生产管理制度，确保人身安全和设备完好。规程内容涵盖辅料制备的各个环节，包括设备操作、物料管理、环境保护、应急处置等，以保障公司半导体辅料制备工作的顺利进行。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

a.操作人员必须穿戴符合国家标准的工作服，避免衣物卷入设备。

b.佩戴护目镜，防止辅料飞溅入眼。

c.根据操作要求，正确佩戴防尘口罩或防毒面具。

d.必要时佩戴耳塞，减少噪音对听力的影响。

e.操作高温设备时，必须穿戴耐高温手套和防护鞋。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备是否处于正常工作状态，无异常噪音或振动。

b.确认设备各部件连接牢固，无松动现象。

c.检查设备冷却系统是否正常，确保冷却效果。

d.检查设备安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、安全栅栏等。

e.确认设备运行参数设置正确，符合操作规程要求。

3.作业环境基本要求：

a.工作区域保持整洁，物料摆放有序，通道畅通。

b.确保通风良好，无有害气体积聚。

c.操作室内温度、湿度符合设备运行要求。

d.定期检查电气线路，确保无裸露电线、插座损坏等安全隐患。

e.设备周围不得堆放易燃易爆物品，保持安全距离。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程：

a.启动设备前，确认设备状态正常，操作人员穿戴好防护用品。

b.按照设备操作手册，逐步开启设备，检查各部分运行是否正常。

c.根据辅料制备工艺要求，调整设备参数，如温度、压力、速度等。

d.开启物料输送系统，确保物料按预定流程进入设备。

e.监控设备运行，根据工艺要求进行必要调整。

f.制备过程结束后，关闭物料输送系统，逐步关闭设备。

g.操作完毕后，对设备进行清洁和保养。

2.特定操作技术规范：

a.调整设备参数时，需严格按照工艺参数执行，避免超出设备承受范围。

b.在操作过程中，严禁对设备进行随意调整，如遇异常情况应立即停止操作。

c.作业过程中，需密切关注辅料状态，确保辅料质量符合要求。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备故障或异常现象，立即停止操作，隔离故障设备。

b.确认异常原因，采取相应措施排除故障，必要时联系维修人员。

c.在故障排除过程中，确保现场安全，避免交叉作业。

d.故障排除后，经检查确认设备恢复正常，方可重新启动设备。

e.记录异常情况及处理过程，为后续操作提供参考。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动或噪音。

b.电流、电压等运行参数稳定，在设定范围内波动。

c.温度控制系统工作正常，设备温度在规定范围内。

d.物料输送流畅，无堵塞现象。

e.设备各部件运行协调，无异常磨损。

2.常见故障现象：

a.设备突然停止运行，可能因过载、短路或故障保护触发。

b.设备运行过程中出现振动或噪音加剧，可能是轴承、齿轮磨损或安装不当。

c.物料输送不畅，可能是管道堵塞或输送设备故障。

d.温度控制系统失控，导致设备温度过高或过低。

e.设备出现泄漏，可能是密封件损坏或连接处松动。

3.状态监控方法：

a.通过仪表读取运行参数，如电流、电压、温度等，与设定值对比。

b.观察设备外观，检查是否有异常磨损或泄漏。

c.使用振动监测仪器，实时监控设备振动情况。

d.安装摄像头或其他视觉监测系统，对设备运行进行远程监控。

e.建立设备运行日志，定期检查和记录设备状态。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.定期检查设备各部件的运行状态，如电机、泵、阀门等。

b.监测设备的工作温度，确保不超过设计极限。

c.检查物料输送系统的效率，确保物料流动顺畅无阻。

d.测试设备的安全保护系统，如紧急停止按钮、过载保护等。

e.定期对设备进行性能测试，如精度、速度等关键指标。

2.调整方法：

a.根据测试结果，调整设备参数，如温度、压力、速度等。

b.检查并调整设备各部件的紧固情况，确保无松动。

c.对于输送系统，清除堵塞物，检查并调整输送带或管道。

d.更换磨损的部件，如轴承、密封件等。

e.对安全保护系统进行校验，确保其能在紧急情况下正确响应。

3.不同工况下的处理方案：

a.正常工况：保持设备稳定运行，定期进行预