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2025年真空镀膜操作员真题试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（请将正确选项的字母填在括号内，每题1分，共20分）

1.在真空环境中，表示气体稀薄程度的最主要物理量是（）。

A.压强B.温度C.流量D.密度

2.下列哪种真空计主要用于测量低真空区域？（）

A.复合真空计B.热偶真空计C.皮拉尼真空计D.电离真空计

3.真空获得系统中，通常用作前级泵的是（）。

A.涡轮分子泵B.旋片泵C.离子泵D.sputterpump

4.在真空镀膜过程中，为了获得良好附着力，基板通常需要进行（）处理。

A.高温退火B.真空烘烤C.氮化处理D.涂覆保护层

5.蒸发镀膜的主要物理过程是（）。

A.靶材被离子轰击溅射出原子B.靶材加热熔化并蒸发成气态原子C.气态物质在基板上发生化学反应D.利用等离子体沉积薄膜

6.磁控溅射与普通溅射相比，其主要优点是（）。

A.镀膜速率更高B.薄膜均匀性更好C.能溅射绝缘体靶材D.设备结构更简单

7.真空腔体抽气时，通常按照（）的顺序开启阀门。

A.粗抽阀→精抽阀B.精抽阀→粗抽阀C.前级泵阀门→主泵阀门D.主泵阀门→前级泵阀门

8.镀膜过程中，发现薄膜出现针孔，可能的原因之一是（）。

A.基板温度过高B.真空度不够高C.靶材纯度过低D.气体流量过大

9.以下哪项不属于真空镀膜设备的日常维护内容？（）

A.清洁真空腔体内部B.更换真空泵油C.校准压力计D.调整工艺参数以优化膜质

10.操作真空设备时，以下哪项是错误的做法？（）

A.检查设备接地是否良好B.允许在设备运行时打开腔体观察窗口C.搬运重物时注意安全D.加热靶材时观察周围环境

11.在真空环境中，金属容易发生（）现象，导致靶材损耗。

A.汽化B.氧化C.沉积D.溅射

12.离子镀膜与蒸发镀膜相比，其主要特点是（）。

A.镀膜速率更快B.薄膜结合力更强C.薄膜电阻率更低D.对基板要求更低

13.测量薄膜厚度常用的方法是（）。

A.光学显微镜观察B.薄膜应力测试C.拉力测试D.质量法或椭偏仪法

14.真空环境中，可能发生爆炸的物质是（）。

A.氮气B.氩气C.氢气D.氧气

15.清洁真空腔体内部时，应优先选用（）。

A.有机溶剂（如酒精）B.强酸C.去离子水D.碱性清洁剂

16.镀膜设备中，冷凝阱的主要作用是（）。

A.提高真空度B.加热靶材C.冷凝掉不需要的气体或蒸气D.产生等离子体

17.安全操作规程中，要求操作人员穿戴PPE，其主要目的是（）。

A.增强操作舒适度B.防止职业病和意外伤害C.提高工作效率D.符合法规要求

18.下列哪种气体通常用作溅射工艺的载气？（）

A.氧气B.氮气C.氩气D.氢气

19.镀膜后，发现薄膜颜色与预期不符，可能的原因是（）。

A.基板温度不均匀B.靶材成分偏离C.工艺气体流量不当D.以上都是

20.真空度表示方法“7×10?3Pa”相当于（）。

A.7毫巴B.7托C.7毫帕D.7毫托

二、判断题（请将“正确”写在括号内，“错误”写在括号内，每题1分，共10分）

1.绝对压力是指低于大气压的真空系统内的压力。（）

2.热偶真空计的测量范围很广，从高真空到低真空都可以使用。（）

3.离子泵是一种干式泵，不需要抽前级真空。（）

4.镀膜前，基板必须彻底清洁，以避免污染薄膜。（）

5.蒸发镀膜的薄膜厚度主要取决于蒸发速率和沉积时间。（）

6.磁控溅射过程中，磁场的作用是约束电子加速轰击靶材。（）

7.真空系统抽气时，如果出现异常声音或震动，应立即停止抽气并检查。（）

8.镀膜过程中产生的废气和废液可以直接排放，