第五章 电容式传感器.pptVIP

第1页，共40页，星期日，2025年，2月5日原理：电容式传感器是一种将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器件。优点：1、结构简单、分辨力高；2、它可非接触测量；3、能在数兆赫载频下工作，有利于动态检测；4、能在高频、辐射等恶劣条件下工作。第2页，共40页，星期日，2025年，2月5日第一节基本工作原理、结构及特点第3页，共40页，星期日，2025年，2月5日一、变面积型电容传感器1、工作原理面积:A=L×b极板间距:d介电常数为：εr第4页，共40页，星期日，2025年，2月5日电容的相对变化量为：ΔC/C0=ΔL/L灵敏度：S=ΔC/ΔL=ε0εrb/d第5页，共40页，星期日，2025年，2月5日2、差动式变面积型传感器第6页，共40页，星期日，2025年，2月5日第7页，共40页，星期日，2025年，2月5日二、变极距型电容传感器1、工作原理电容的相对变化量为：第8页，共40页，星期日，2025年，2月5日第9页，共40页，星期日，2025年，2月5日如果满足条件Δd/d1时略去高次项ΔC/C0≈Δd/d考虑二次项时：第10页，共40页，星期日，2025年，2月5日灵敏度：考虑二次项时，其相对非线性误差为：结论：1）变极距型电容传感器的非线性与极距d成反比，只有在Δd／d很小时，才有近似的线性输出，因此，这种传感器适用于微米级的位移测量中。2）传感器的灵敏度S与初始极距d的平方成反比，故可采用减小d。的办法来提高灵敏度，但又影响了线性。第11页，共40页，星期日，2025年，2月5日2、差动式变极距电容传感器电容总的相对变化量为：忽略高次项：ΔC/C0≈2Δd/d相对线性误差为：第12页，共40页，星期日，2025年，2月5日第13页，共40页，星期日，2025年，2月5日三、变介质型电容传感器第14页，共40页，星期日，2025年，2月5日传感器电容量与液位高度成线性关系。电介质材料的相对介电常数见表5-1第15页，共40页，星期日，2025年，2月5日第二节传感器的测量电路一、交流电桥当电桥平衡时有：当电容传感器阻抗Z1变化ΔZ时电桥输出电压为：第16页，共40页，星期日，2025年，2月5日将电桥平衡条件带入上式：第17页，共40页，星期日，2025年，2月5日(1)传感器阻抗相对变化量β(2)桥臂比对于电容传感器近似为实数。第18页，共40页，星期日，2025年，2月5日(3)桥臂系数K为一复数，可表示为：将代入A=αejθ第19页，共40页，星期日，2025年，2月5日以为参变量分别画出桥臂系数的模、相角与a关系第20页，共40页，星期日，2025年，2月5日结论：(1)当α=1时，|K|为最大值Km又随θ而变化当θ=0O时，Km=0.25，输出电压与电源同相位；当θ=±90O时，Km=0.5，输出电压与电源发生90O相移；当θ=±180O时，Km→∞，此时甸桥发生谐振，输出电压趋于无限大；(2)当α=1时，无论θ为何值φ始终为0，则输出与电源同相位；当α→∞时，φ=φm，并且φm=θ；当θ=0时，则φ=0第21页，共40页，星期日，2025年，2月5日第22页，共40页，星期日，2025年，2月5日二、变压器式电容电桥（了解）第23页，共40页，星期日，2025年，2月5日电路输出电压为当桥路输出端开路时输出电压为：当传感器C1和C2是变极距型差动平板电容器时，有：第24页，共40页，星期日，2025年，2月5日第25页，共40页，星期日，2025年，2月5日三、差动脉冲宽度调制电路第26页，共40页，星期日，2025年，2月5日第27页，