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公司硅晶片抛光工职业健康及安全操作规程

文件名称：公司硅晶片抛光工职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司所有从事硅晶片抛光工作的员工。规程旨在确保硅晶片抛光过程中员工的人身安全和健康，降低职业危害风险。操作过程中，必须严格遵守国家相关法律法规和公司安全生产管理制度，确保生产作业安全有序。所有员工应充分了解并掌握本规程内容，切实履行安全生产责任。

二、操作前的准备

1.防护用具使用：

a.操作前，员工应穿戴符合规定的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩，确保个人防护措施到位。

b.抛光过程中，如需使用防护眼镜，应确保镜片无划痕，能够有效防护飞溅的磨料和化学物质。

c.防尘口罩应正确佩戴，确保鼻孔和口部完全密封，防止吸入有害粉尘。

d.防护手套应选择适合的材料，如耐酸碱、耐高温等，确保手套与手部贴合，防止化学品和磨料对皮肤的伤害。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查抛光机是否处于正常状态，包括电源、传动系统、控制系统等。

b.检查抛光头是否有损坏或磨损，确保抛光头表面平整，无裂纹。

c.检查抛光机的工作台面是否稳固，无松动或变形。

d.检查抛光机的安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、安全防护罩等。

e.检查冷却系统是否正常，确保冷却水流畅，无堵塞。

f.检查电气线路和接地是否良好，防止漏电事故发生。

3.作业区域的准备要求：

a.抛光作业区域应保持整洁，清理掉作业区域内的杂物和废料，确保通道畅通。

b.抛光机周围应设置安全警示标志，提醒员工注意安全。

c.作业区域应配备必要的消防器材，如灭火器、消防砂等。

d.作业区域应保持良好的通风，确保有害气体和粉尘及时排出。

e.抛光机附近的地面应铺设防滑材料，防止操作过程中滑倒。

f.作业区域应定期进行清洁和消毒，减少细菌和病毒的滋生。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作步骤流程：

a.打开抛光机电源，启动设备，观察设备运行是否正常。

b.将硅晶片放置于抛光机工作台上，确保晶片位置正确，与抛光头接触均匀。

c.调整抛光头的压力，使其与硅晶片表面保持适当距离，避免过度磨损。

d.开启冷却系统，确保抛光过程中硅晶片得到充分冷却。

e.根据工艺要求，调整抛光机的转速和抛光液的流量。

f.监控抛光过程，注意观察硅晶片表面质量，如发现异常情况，立即采取措施。

g.抛光完成后，关闭冷却系统和抛光机，取出硅晶片，进行质量检查。

2.特殊工序的操作规范：

a.在进行硅晶片边缘抛光时，应特别小心，避免损坏晶片边缘。

b.在抛光含有微孔或特殊结构的硅晶片时，需调整抛光头的压力和转速，确保抛光效果。

c.抛光过程中，如需更换抛光液或磨料，应先关闭设备，待设备冷却后再进行操作。

3.异常工况的处理方法：

a.若发现抛光机出现异常声音或震动，应立即停止设备，检查设备是否存在故障。

b.如发现硅晶片表面出现划痕或损伤，应停止抛光，检查抛光头是否磨损，调整抛光压力。

c.若冷却系统出现故障，导致硅晶片过热，应立即关闭设备，检查冷却系统并修复。

d.如抛光过程中出现烟雾或异味，应立即停止操作，通风换气，查找原因并处理。

e.在处理任何异常情况时，应确保所有人员安全，避免发生二次事故。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.抛光机运行时，噪音应处于正常水平，无明显异常响动。

b.抛光头应平稳旋转，无抖动现象，且转速应与设定值相符。

c.冷却水压力应保持恒定，流量适中，冷却效果良好。

d.电流和电压读数应稳定，无大幅波动。

e.设备温度应控制在规定范围内，防止过热。

f.抛光液流量和压力应符合工艺要求，保证抛光效果。

2.典型故障现象：

a.设备噪音过大，可能由于轴承磨损、传动系统故障或齿轮损坏等原因。

b.抛光头转速不稳定，可能是电机故障、传动带松动或控制系统问题。

c.冷却系统故障，表现为冷却水压力不足、流量异常或温度过高。

d.电流或电压波动，可能是电源问题或电气线路故障。

e.设备过热，可能是冷却系统故障、负载过大或设备本身设计缺陷。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期对设备进行外观检查，及时发现异常情况。

b.使用监测仪器，如电流表、电压表、温度计等，实时监测设备运行参数。

c.设备运行过程中，操作人员应密切观察抛光头、冷却系统、传动系统等关键部件的状态。

d.定期进行设备维护保养，包括润滑、紧固、清洁等，防止故障发生。

e.发现设备异常时，应立即停止操作，按照故障处理程序进行