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薄膜的蒸发沉积原理与技术.pptx

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    真空中的薄膜热蒸发沉积

    ---原理、技术、厚度控制刘定权编写2019年12月18日上海

    主要内容1.关于薄膜的一些基本概念2.材料在真空中的热蒸发薄膜在真空中的沉积生长膜层厚度控制与均匀性热蒸发薄膜的一些应用SITP-CASDINGQUANLIU

    1关于薄膜的一些基本概念不同的用途有不同的概念:(1)光学的人讲,能够产生干涉的薄层;(2)电子学认为,厚度不能超过1μm;(3)物理学认为,是2维结构的材料;(4)生物学认为,细胞等组织的保护层;(5)农业生产中,甚至厚度到100μ

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