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中微公司公司深度报告：国产刻蚀设备领军者，薄膜业务蓄势待发.docx

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    TOC\o1-2\h\z\u深耕半导体高端装备，铸就平台化发展格局 6

    立足于刻蚀与MOCVD设备，开拓全面技术创新 6

    卓越团队引领，引领长远发展 8

    业绩增长亮眼，技术筑基长远 9

    CCP刻蚀设备行业领先，覆盖先进制程需求 13

    刻蚀工艺支撑集成电路制造核心环节 13

    制程演进协同三维堆叠，刻蚀设备需求激增 14

    CCP刻蚀技术领先，ICP刻蚀成长可期 16

    薄膜设备稳步推进，外延应用加速延伸 20

    国际厂商主导市场，国产替代任重道远 20

    聚焦CVD/ALD核心技术，开拓存储与逻辑芯片市场空间 22

    氮化

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