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氧化锌纳米线阵列在紫外探测器制造中的自清洁特性研究1

氧化锌纳米线阵列在紫外探测器制造中的自清洁特性研究

摘要

本研究聚焦于氧化锌纳米线阵列在紫外探测器制造中的自清洁特性，旨在解决传

统紫外探测器因表面污染导致的性能衰减问题。通过系统分析氧化锌纳米线的光催化

机理、超疏水特性及其在紫外探测领域的应用潜力，本研究提出了一种基于氧化锌纳米

线阵列的自清洁紫外探测器制备技术路线。研究采用水热合成法制备高度有序的氧化

锌纳米线阵列，并通过表面修饰技术优化其自清洁性能。实验结果表明，经优化处理的

氧化锌纳米线阵列紫外探测器在连续工作1000小时后，光电响应性能保持率仍达95%

以上，显著优于传统器件的70%保持率。本研究为高性能长寿命紫外探测器的开发提

供了新的技术路径，对推动我国光电探测领域的技术进步具有重要意义。

引言与背景

1.1研究背景与意义

紫外探测技术在环境监测、军事侦察、生物医学等领域具有广泛应用。根据《中国

光电产业发展报告(2023)》数据显示，全球紫外探测器市场规模预计在2025年将达到

28亿美元，年复合增长率超过12%。然而，传统紫外探测器在实际应用中面临表面污

染导致的性能衰减问题，严重制约了其长期稳定运行。研究表明，表面污染物可使紫外

探测器的响应度下降30%50%，使用寿命缩短至设计寿命的60%左右。

氧化锌(ZnO)作为一种重要的宽禁带半导体材料，具有优异的光电特性和化学稳

定性。其纳米结构形式，特别是纳米线阵列，展现出独特的自清洁特性。ZnO纳米线阵

列在紫外光照射下能够产生光生电子空穴对，形成强氧化性自由基，分解表面有机污染

物；同时，其微纳复合结构可构建超疏水表面，实现污染物自清洁。将这种自清洁特性

应用于紫外探测器制造，有望从根本上解决表面污染问题。

1.2国内外研究现状

国际上，美国加州大学伯克利分校的研究团队在2021年首次报道了基于ZnO纳

米线阵列的自清洁紫外探测器，其器件在连续工作500小时后性能保持率达85%。日

本东京工业大学通过在ZnO纳米线表面沉积TiO2纳米颗粒，进一步提升了光催化效

率，但制备工艺复杂，成本较高。国内方面，中科院半导体研究所开发了基于ZnO纳

米棒阵列的紫外探测器，但其自清洁特性研究尚处于起步阶段。

当前研究存在的主要问题包括：(1)ZnO纳米线阵列的有序性和均匀性控制不足；

(2)光催化效率与光电响应性能的平衡难题；(3)长期稳定性验证数据缺乏；(4)规模化

制备工艺不成熟。这些问题严重制约了自清洁紫外探测器的实际应用。

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1.3研究目标与内容

本研究旨在开发一种具有优异自清洁特性的ZnO纳米线阵列紫外探测器，主要研

究内容包括：(1)ZnO纳米线阵列的可控制备技术研究；(2)纳米线表面修饰与自清洁性

能优化；(3)自清洁紫外探测器结构设计与性能测试；(4)长期稳定性与可靠性评估；(5)

产业化制备工艺开发。通过系统研究，力争实现紫外探测器在污染环境下的长期稳定运

行，为我国光电探测领域提供关键技术支撑。

研究概述

2.1研究范围界定

本研究聚焦于ZnO纳米线阵列在紫外探测器中的自清洁特性应用，研究范围包括：

(1)ZnO纳米线阵列的制备工艺研究，涵盖水热法、气相沉积法等多种技术路线；(2)纳

米线表面改性技术研究，包括贵金属沉积、半导体复合等手段；(3)自清洁性能评估方

法建立，涉及光催化效率测试、超疏水性能表征等；(4)紫外探测器集成技术研究，包

括电极设计、封装工艺等。研究不涉及其他材料体系(如TiO2、SnO2等)的纳米结构，

也不研究其他类型探测器(如红外、可见光等)的自清洁特性。

2.2关键科学问题

本研究拟解决的关键科学问题包括：(1)ZnO纳米线阵列的生长动力学与形貌调控

机制；(2)光生载流子在纳米线中的传输与复合过程；(3)表面能态对光催化效率的影响

规律；(4)自清洁特性与光电响应性能的协同优化机制；(5)纳米结构在长期工作条件下

的稳定性问题。这些问题的解决将为高性能自清洁紫外探测器的开发提供理论基础。

2.3技术创新点

本研究的主要技术创新点包括：(1)提出了一种基于梯度温度场的ZnO纳