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真空技术基础试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每题2分，共20分）

1.真空是指（）。

A.气压低于标准大气压的状态

B.完全没有气体的状态

C.气压高于标准大气压的状态

D.气体密度均匀的状态

2.通常所说的“高真空”区域，其压力范围大约是（）。

A.1×10?Pa~1×10?Pa

B.1×10?3Pa~1×10?1Pa

C.1×10?1Pa~1×10??Pa

D.1×10??Pa~1×10?12Pa

3.真空获得设备中，属于正位移泵的是（）。

A.离子泵

B.扩散泵

C.旋片泵

D.涡轮分子泵

4.下列哪种泵主要用于获得超高真空？（）

A.旋片泵

B.油扩散泵

C.离子泵

D.活塞泵

5.真空系统的检漏方法中，不属于破坏性方法的是（）。

A.放大检漏法

B.氦质谱检漏法

C.气压变化法

D.示踪气体法

6.真空系统抽气过程中，系统压强随时间变化的曲线称为（）。

A.伏安特性曲线

B.抽速曲线

C.电流-电压曲线

D.压强-时间曲线

7.影响气体放电辉光放电稳定性的主要因素是（）。

A.气体种类和气压

B.阴阳极电压

C.管子几何形状

D.以上都是

8.真空系统设计中，选择前级泵的主要依据是（）。

A.系统极限真空度

B.系统抽气速率要求

C.主泵的抽气速率和极限真空

D.系统成本

9.油扩散泵工作时，必须先开启（）。

A.前级泵

B.主泵

C.油循环泵

D.真空计

10.真空获得设备中，抽气速率随压强降低而急剧下降的泵是（）。

A.旋片泵

B.油扩散泵

C.涡轮分子泵

D.离子泵

二、填空题（每空1分，共15分）

1.依据气体分子运动理论，气体压强与气体分子数密度和分子平均平动动能的_______成正比。

2.真空度通常用_______、_______和_______等物理量来表征。

3.真空泵按照气体作用原理可分为_______和_______两大类。

4.在超高真空范围内，气体分子间的碰撞_______了分子与器壁的碰撞，分子传递能量的主要方式变为_______。

5.真空系统的检漏，对于低于_______真空度的系统，通常优先选用氦质谱检漏法。

6.真空获得设备的选择，应综合考虑系统的_______、_______、_______等要求。

7.离子泵是一种高真空和超高真空获得设备，其抽气机理是利用_______与气体分子发生_______而将其去除。

三、判断题（每题1分，共10分）

1.真空度越高，表示系统内气体越稀薄。（√）

2.所有的真空泵都能抽除惰性气体和活性气体。（×）

3.油扩散泵可以达到很高的极限真空度。（√）

4.真空系统抽气时，如果压强下降过快，可能导致“泵抽空”现象。（√）

5.任何形式的气体放电都会破坏真空。（×）-*（例如，某些高能电子束也可能破坏）*

6.真空系统的抽速是指单位时间内泵能抽走气体的体积。（√）

7.真空计是测量真空系统内气体压强的仪器。（√）

8.真空系统的抽气过程是气体分子从高浓度区域向低浓度区域扩散的过程。（×）-*（在真空泵作用下，是气体分子从系统内被抽出）*

9.真空系统的放气主要是指残余气体自身的解吸。（×）-*（也包括从管道、阀门等处漏入的气体）*

10.离子泵不需要前级泵。（√）

四、简答题（每题5分，共20分）

1.简述获得超高真空的主要技术难点及其解决方案。

2.简述油扩散泵的工作原理及其优缺点。

3.简述真空系统检漏的常用方法及其基本原理。

4.简述选择真空获得设备（泵）时需要考虑的主要因素。

五、计算题（共15分）

1.某真空系统采用一台抽速为500L/s的旋片泵作为主泵，其极限真空度为5×10?3Pa。现需将系统抽至1×10??Pa。假设系统漏率可忽略，且泵的抽速在所抽气体范围内近似不变。问：

a)抽至1×10??Pa需要多少时间？（假设系统初始压强为1atm）

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