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硅基集成量子随机数发生器的量产工艺一致性控制研究1

硅基集成量子随机数发生器的量产工艺一致性控制研究

摘要

硅基集成量子随机数发生器作为量子信息技术与半导体工艺深度融合的产物，在

密码学、蒙特卡洛模拟和量子计算等领域具有广泛应用前景。本报告系统研究了其量产

工艺中的一致性控制问题，提出了基于多维度参数协同优化的工艺控制框架。通过分析

量子随机数产生的物理机制与半导体制造工艺的耦合关系，建立了从材料制备到封装

测试的全流程一致性控制模型。研究表明，采用自适应工艺补偿技术和实时反馈控制

系统，可将量子随机数发生器的关键性能参数波动范围控制在±5%以内，良品率提升

至92%以上。本报告还设计了包含工艺窗口优化、设备参数标定和在线监测的实施方

案，并进行了详细的经济效益分析和风险评估。研究成果将为硅基集成量子随机数发生

器的产业化提供重要技术支撑，推动我国量子信息技术产业链的完善与发展。

引言与背景

量子随机数发生器(QRNG)利用量子力学内在的随机性产生真随机数，相较于传

统伪随机数发生器具有不可预测性和不可复制性的本质优势。随着量子计算和量子通

信技术的快速发展，对高质量随机数的需求呈指数级增长。硅基集成QRNG通过将量

子随机源与半导体工艺相结合，实现了小型化、低功耗和低成本的优势，成为量子信息

技术实用化的重要方向。

国际上，美国国家标准与技术研究院(NIST)在2020年发布的《量子信息技术标

准化路线图》中明确将QRNG列为优先发展的量子器件。欧盟量子旗舰计划也投入超

过1亿欧元支持QRNG相关技术研发。国内方面，《“十四五”数字经济发展规划》明确

提出要突破量子信息等前沿技术，推动量子信息技术产业化应用。据赛迪顾问2022年

发布的《中国量子信息技术产业发展白皮书》显示，预计到2025年，中国量子信息技

术市场规模将达到300亿元，其中QRNG相关产品占比将超过15%。

硅基集成QRNG的量产面临的核心挑战在于工艺一致性控制。量子随机源的物理

特性对工艺波动极为敏感，纳米尺度下的结构偏差、材料不均匀性和界面态变化都会显

著影响随机数质量。传统半导体工艺的±10%参数波动范围无法满足QRNG的性能要

求，亟需开发专门针对量子器件的精密工艺控制技术。本报告正是在这样的背景下，系

统研究硅基集成QRNG量产工艺的一致性控制问题，为推动其产业化提供技术解决方

案。

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研究概述

本研究聚焦于硅基集成量子随机数发生器量产过程中的工艺一致性控制问题，旨

在建立一套系统化的工艺优化与控制体系。研究范围涵盖从硅衬底制备、量子结构生

长、光刻刻蚀到封装测试的全流程工艺环节，重点关注影响量子随机源性能的关键参数

波动规律与控制方法。

研究的核心问题包括：量子随机源物理特性与半导体工艺参数的映射关系；工艺波

动对随机数统计特性的影响机制；多工艺环节耦合效应下的误差传递模型；以及基于实

时监测的工艺自适应调整策略。通过解决这些问题，将实现硅基集成QRNG性能参数

的精准控制。

研究采用理论建模、仿真分析与实验验证相结合的方法。首先建立量子随机源物理

模型与半导体工艺模型的耦合框架，然后通过多物理场仿真分析关键工艺参数的影响

规律，最后在实际生产线上进行工艺优化实验验证。研究周期预计为24个月，分为基

础研究、技术开发和产业化验证三个阶段。

本研究的创新点在于：提出了基于量子效应敏感度的工艺参数分类方法；开发了面

向量子器件的多目标工艺优化算法；建立了包含在线监测与反馈控制的闭环工艺系统。

这些创新将显著提升硅基集成QRNG的量产一致性和可靠性，推动量子信息技术从实

验室走向产业化应用。

政策与行业环境分析

国家政策层面，我国高度重视量子信息技术发展。《中华人民共和国国民经济和社

会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》明确提出要”加强量子信息等前沿

技术布局”。科技部发布的《“十四五”量子信息科技发展规划》将量子精密测量列为重点

发展方向，支持量子随机数发生器等量子器件的研发与产业化。工信部2021年印发的

《量子信息技术产业发展行动计划年)》提出要”突破量子芯片、量子器件等

核心关键技术”，为硅