微环谐振腔的传输特性分析.pdfVIP

Vol.61No.4ENGINEERINGTESTDec.2021

工程与试验

微坏谐振腔的传输特性分析

南午申申

（安思锐科航空科技有限公司，中国飞机强度研究所，陕西西安710065)

摘要：谐振腔作为皮信号传输中的重要部件，在工程中得到广泛应用。实际应用中，由于微环谐振腔对目标频率

敏感，完全基于理论分析其特性常会出现设计频率不吻合并难以确定全场电磁特性。本文从波导理论出发，使用有

限元方法对光波导环形谐振腔结构进行仿真计算，研究分析了波导耦合圆环形谐振腔结构的光传输特性及其在谐

振处的全场稳态电磁场分布，为优化再设计提供了有益参考。

关键词：频率；谐振腔；有限元分析

中图分类号：TN252文献标识码：Adoi:lO.3969/j.issn.1674-3407.2021.04.003

AnalysisofTransmissionCharacteristicsofMicroringResonator

NanWushenshen

(AircraftStrengthResearchInstituteofChina,Xian710065,Shaanxi,China)

Abstract:Asanimportantpartofwavesignaltransmission,resonatoriswidelyusedinengineering.Inpractical

application,becausethemicroringresonatorissensitivetothetargetfrequency,itisdifficulttodeterminethefullfield

electromagneticcharacteristicsduetotheinconsistencyofthedesignfrequencybasedonthetheoreticalanalysis.Basedon

thewaveguidetheory,theopticalwaveguideringresonatorstructureissimulatedandcalculatedbyusingthefiniteelement

method.Theopticaltransmissioncharacteristicsofthewaveguidecoupledringresonatorstructureandthewholefield

steady-stateelectromagneticfielddistributionattheresonancearestudiedandanalyzed,whichprovidesausefulreference

fortheoptimizationandredesign.

Keywords:frequency;resonantcavity;finiteelementanalysis

l2

微环谐振腔的理论模型

引言

随着半导体集成电路工业的发展，行业需求对电路元器