《激光微加工防眩光玻璃裂纹检测规范》征求意见稿.docx

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T/CMEEEAXXXX—2025

激光微加工防眩光玻璃裂纹检测规范

1范围

本文件规定了激光微加工防眩光玻璃的检测原理与方法、检测条件与设备、检测流程、缺陷分类与判定规则、检测报告。

本文件适用于通过激光刻蚀工艺生产的防眩光玻璃，包括表面裂纹和内部裂纹的检测，涉及产品生产过程中的在线质量控制及成品入库检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T30020玻璃缺陷检测方法光弹扫描法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

激光微加工防眩光玻璃lasermicro-processedanti-glareglass

通过激光刻蚀在玻璃表面形成微米级凹凸结构，具有防眩光功能的特种玻璃。

3.2

裂纹crack

玻璃表面或内部存在的局部断裂，包括表面裂纹和内部裂纹。

3.3

表面裂纹surfacecrack

开口于玻璃表面的线性缺陷，长度不小于0.1mm，宽度不小于0.01mm。

3.4

内部裂纹internalcrack

存在于玻璃内部未贯通表面的缺陷，深度不大于0.5mm，长度不大于2mm。

3.5

激光超声检测laserultrasonictesting

通过脉冲激光激发玻璃表面产生超声波，利用干涉仪接收反射信号以定位内部缺陷的技术。

4检测原理与方法

4.1激光超声检测（内部裂纹）

4.1.1原理

激光源（波长1064nm）聚焦于玻璃表面，产生高频超声波（10MHz～100MHz）；超声波遇到内部裂纹时发生反射，通过激光干涉仪（分辨率不大于0.1μm）捕捉信号特征变化，计算裂纹深度和位置。

4.1.2方法

按GB/T30020规定的光弹扫描法，采用C扫描模式，扫描步长0.05mm，采样频率1GHz。

4.2高分辨率视觉检测（表面裂纹）

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4.2.1设备

线阵相机（分辨率不小于10000像素）、环形光源（波长550nm±10nm），检测角度45°。

4.2.2方法

样品置于载物台，以2m/min速度移动；相机采集表面图像，通过边缘检测算法识别线性缺陷；结合AI模型区分裂纹与划痕，准确率不小于99.5%。

4.3AI辅助缺陷识别

4.3.1训练数据集

包含10万+张裂纹图像（含不同光照、污染干扰）；

4.3.2模型输出

自动标注裂纹长度、宽度、位置，误差不大于±0.02mm。

5检测条件与设备

5.1环境条件

环境条件应符合下列规定：

a)温度：23℃±2℃;

b)相对湿度：50%±10%；

c)光照：暗室环境（背景照度不大于50lux）。

5.2设备

设备应符合表1的规定。

表1设备

设备类型

技术参数

激光超声检测仪

激光功率：10mW～50mW，脉冲宽度：10ns

视觉检测系统

图像分辨率不小于4K，帧率不小于60fps

光学显微镜

放大倍数：50～200，数值孔径：0.5

5.3设备校准

每日开机后，使用标准裂纹样板（尺寸0.1mm×0.01mm）校准，误差超±5%时应重新调试。

6检测流程

6.1样品准备

使用异丙醇擦拭清洁玻璃表面，去除油污、指纹；样品固定于真空吸附载物台，避免应力变形。

6.2表面裂纹检测

执行4.2条款，生成表面缺陷分布图；重点检测激光加工边缘区域（距边缘5mm范围内）。

6.3内部裂纹检测

执行4.1条款，对表面裂纹对应区域进行LUT扫描；记录内部裂纹深度（d）、长度（L）、位置坐标。

6.4数据记录与分析

存储原始图像及检测报告（格式见附录A）；当检测速度大于1m/min时，启用AI实时判定模式。

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7缺陷分类与判定规则

7.1表面裂纹

表面裂纹应符合表1的规定。

表2表面裂纹

等级

允许范围

应用场景

A级

长度≤0.3mm，宽度≤0.02mm

车载显示屏

B级

长度≤1mm，宽度≤0.05mm，间距≥5mm

消费电子面板

7.2内部裂纹

内部裂纹应符合下列规定：

a)深度d≤0.1mm，且d＜10%玻璃厚度；

b)长度L≤0.5mm，不允许存在分支裂纹。

7.3不合格判定

符合下列规定之一应判定为不合格：

a)表面裂纹超B级要求；

b)内部裂纹深度大于0.1mm或长度大于1mm；

c)同一区域（直径50mm内）存在不