基于金属催化剂制备垂直定向碳纳米管及其面向热界面材料的应用.pdfVIP

HotWorkingTechnology2021,Vol.50,No.20

基于金属催化剂制备垂直定向碳纳米管

及其面向热界面材料的应用

张漫、胡明2,崔虹云〃，孙建波2,王天浩2,马佳\庞芳\吴云飞1

(1.佳木斯大学理学院，黑龙江佳木斯154007;2.佳木斯大学材料科学与工程学院，黑龙江佳木斯154007)

摘要：碳纳米管轴向优异的导热性质和低成本的批量生产被认为有望满足高功率器件散热的要求，同时成为热

界面散热材料的最佳选择。综述了PECVD的种类和基本原理。综述了基于金属催化剂PECVD法制备的碳纳米管可通

过适当工艺参数的调整在较低的温度下得到垂直、定向排列的碳纳米管阵列。介绍了碳纳米管阵列在热界面材料上的

应用。最后，指出影响碳纳米管导热的因素以及提高导热性能的方法。

关键词：金属催化剂；碳纳米管；垂直定向；制备；热界面

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.

中图分类号：TB332文献标识码：A文章编号：1001-3814(2021)20-0022-03

PreparationofVerticallyOrientedCarbonNanotubesBasedonMetalCatalysts

andTheirApplicationtoThermalInterfaceMaterial

ZHANGMan1,HUMing2,CUIHongyunu,SUNJianbo2,WANGTianhao2,

MJia1,PANGFang1,WUYunfei1

(1.JiamusiUniversitySchoolofScience,Jiamusi154007,China;2.SchoolofMaterialsScienceandEngineering,Jiamusi

University,Jiamusi154007,China)

AbstractCarbonnanotubes(CNTs)withexcellentthermal：conductivityalongtheaxisandlowcostbatchproductionare

expectedtomeettherequirementsofhighpowerdevicesinthefuture,andbecomethebestchoiceforheatdissipation

materialsatthermalinterface.ThekindsandbasicprinciplesofPECVDwerereviewed.Thecarbonnanotubespreparedby

PECVDalignedverticallyandorientatedatlowertemperaturesobtainedbyadjustingappropriateproc