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电子级砷化氢标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技术内容分析.pdf

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    电子级神化氢标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技

    术内容分析

    EnglishTitle:AnalysisonthePurpose,Significance,ScopeandMainTechnical

    ContentoftheRevisionProjectforElectronicArsineGasStandard

    摘要

    随着我国集成电路与泛半导体产业向高精度、微型化方向快速发展，高纯电子气体

    作为关键基础材料，其质量标准亟需与技术演进和市场应用相匹配。本报告围绕电

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