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等厚干涉法测量轻微磨损的研究

摘要

本文介绍了测量轻微磨损的重要性、国内外对于测量轻微磨损所使用的方法。研究不同离子注入对于样品耐磨性的影响，阐述了等厚干涉法测量不同离子注入样品轻微磨损的理论和方法，并分析磨损机在同一磨损条件下在不同样品表面形成的磨损痕迹。最后借助ps法测出不同样品的干涉条纹区的像素或面积，用相对像素或面积来比较不同样品的耐磨性，给出了完善的测量轻微磨损的可能途径。

关键词：轻微磨损，等厚干涉法，磨损痕迹，干涉条纹

ABSTRACT

Thispaperintroducestheimportanceofmeasurings