原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
采用保护铝对2米级主镜进行镀膜
a，a，a,ba光电，610209，b中
国院，100039，
为蒸发镀制Ø2.4米的大规格反射镜，我们研制了国内最大的钟罩型高真空电阻蒸发机，并首次提出采用从上到
下的蒸发方式带一氧化硅涂层的保护铝涂层结构。结果表明：铝膜的不均匀性在直径1.8米范围内不超过
5.17%；经过环境测试后镜面无变化，反射率下降小于1%。反射镜反射率平均值为Rav88%
@350nm‑1800nm和Rav90%@400nm‑2500nm。我们分别于2011年4月和2011年10月完成了Ø1.8米平面镜
和Ø1.8米凹面镜的镀膜。结果表明：镀膜后PV值小于λ/10，RMS值无变化。
：大型高真空蒸发机，钟罩型，大型反射镜，保护涂层，辉光放电
1.引言
1
在近紫外到远红外波段范围内，铝的平均反射率超过95%，且化学性质稳定。自从DonovanStrong完善了
使用真空热蒸发的铝蒸发技术以来，铝涂层已成为大型镜面广泛且基本使用的涂层。随着镜面口径的增大和镜
2
面重量的增加，出于安全考虑，MMT和Subaru采用了接近水平蒸发的方式，并尝试了从上到下的蒸发方式。
此外，为了在可见光谱范围内获得高反射率，大型镜面大多使用裸铝涂层。根据不同的应用环境和镀膜方式，
3
涂层的使用一般为1至3年。为了延长涂层的使用，可以在反射率允许的范围内添加保护涂层，例如
2
SiO,AlO等。
23
技术要求表明，在400nm至2500nm的光谱区域，平均反射率必须大于90%。根据这一要求，并结合安全性的
考虑，我们选择Al作为反射涂层材料，SiO作为保护层材料，从上至下进行蒸发，并研制了国内最大的钟罩型
镀膜机，用于对2米主镜进行保护铝膜的镀制，并给出了性能测试。
第六届先进光学制造与测试技术国际研讨会：大型镜子和望远镜，汉、、编辑，SPIE会议
录第8415卷，841517©2012SPIE·CCC编码:0277‑786/12/$18·doi:10.1117/12.966816
Coatingthe2-mlevelprimarymirrorwithprotectedaluminum
aaa,b
PeiWenjun,LiuHongxiang,DuWeichuan
aInstituteofOpticsandElectronics,AcademyofSciences,Chengdu610209,
b
文档评论（0）